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基于质谱检漏仪的氦、氢介质检漏的研究.pdf
第23卷 第2期 仪器仪表用户 EIC Vo1.23
2016年2月 NSTRUMEN ION 2Ol6 No.2
基于质谱检漏仪的氦、氢介质检漏的研究
黄文平,朱长平
(安徽皖仪科技股份有限公司,合肥 230088)
摘 要:本文从质谱检漏仪的基本原理及标定原理出发,实验探讨质谱检漏仪氦、氢模式下的离子加速电压,以及
氦、氢介质检漏时的漏率信号,分析产生这些现象的原因,总结出影响这种结果的诸多因数。
关键词:质谱检漏4z;定标;标准漏孔;加速电压
中图分类号:TH 文献标识码 :A 文章编号:1671-1041(2016)02—0005—03
BasedonQualitySpectrumLeakInstrumentofHelium,andHydrogen
MediaLeakofResearchMr
HuangWenping,ZhuChangping
(AnhuiWaninstrumentTechnologyCorporation,Hefei,230088,China)
Abstract:paperfromqualityspectrum leakinsturmentofprincipleandthecalibrationprinciplestarting,experimentdiscussion
qualityspectrum leakinsturmenthelium,andhydrogenmodeXiaofionacceleratedvoltage,andhelium,andhydrogenmedia
leakShiofleakratesignal,analysisproducedthesephenomenonofreasons,summaryouteffectthisresultsofmanyfactor.
Keywords:massspectrometerleakdetectorscannercalibrationstandardleak;acceleratingvoltage
式中:R——离子偏转轨道半径 (cm)
B——磁场强度 (T)
质谱检漏仪的探索气体种类多用性使用越来越广泛 , u——离子加速电压 (V)
仪器的多用性即一种检漏仪能使用二种示踪气体检测需求 MZ/——离子的质荷 比 (离子的质量与电荷的
越来越普遍。如:氦氢质谱检漏仪,这种质谱检漏仪能完 比值)
成对氦气或氢气的检测,提高了仪器的多用途性,增加了 由上式可知,当R、B为固定值时,改变加速电压可使
仪器的使用面。鲜有文章对这类质谱检漏仪的氦、氢介质 不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。被
检漏进行对比研究,本文从质谱检漏仪的标定出发,对比 检测的气体是固定的 (He气),即质荷比M,z是已知的,因
标定后质谱检漏仪的离子加速电压,分析氦、氢介质检漏 此只要调整好加速电压,使He离子能通过接收缝到达接收电
的漏率信号。 极,而使其他离子不被接收,接收电极接收到的He离子流经
过放大后用于指示漏率。其他离子被离子检测极接收。
1 质谱仪检漏仪原理
1.1质谱检漏仪基本原理
氦质谱检漏仪主要是运用磁质谱理论和逆扩散理论及 鞍 璧离子
质谱分析方
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