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- 2017-06-17 发布于四川
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- 被代替
- 已被新标准代替,建议下载标准 GB/T 12964-2018
- | 2003-06-16 颁布
- | 2004-01-01 实施
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GB/T12964-2003
前 言
本标准修改采用半导体设备和材料国际组织标准SEMIMl-0997((硅单晶抛光片规范》中的有关
内容,对GB/T12964-1996进行修订而成的。主要在原标准的内容上增加了直径200mm直拉硅单
晶抛光片的内容。
本标准由中国有色金属工业协会提出。
本标准由中国有色金属工业标准计量质量研究所负责归口。
本标准由北京有色金属研究总院、洛阳单晶硅有限责任公司负责起草。
本标准主要起草人:翟富义、孙燕、董慧燕、卢立延、曹孜、孙文海。
本标准所代替标准的历次版本发布情况为:
— GB/T12964-1991,GB/T12964-19960
GB/T 12964-2003
硅 单 晶 抛 光 片
范围
本标准规定了硅单晶抛光片(简称硅抛光片)的必要的相关性术语、产品分类、技术要求、试验方法、
检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。
本标准适用于直拉硅单晶研磨片经腐蚀减薄后进行单面抛光制备的硅抛光片。产品主要用于制作
集成电路等半导体器件或做为硅外延沉积的衬底。
2 规范性引用文件
下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件,其随后所有
的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准,然而,鼓励根据本标准达成协议的各方研究
是否可使用这些文件的必威体育精装版版本。凡是不注日期的引用文件,其必威体育精装版版本适用于本标准。
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3 术语
主参考面直径 primary flat diameter
从参考面的中心沿着垂直参考面的直径,通过硅片达对面的边缘周边处的直线长度。见图la).
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GB/T 12964-2003
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