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晶体硅太阳能电池制造设备 SOLAR CELL 晶体硅太阳能光伏制造装备产业化 杨剑，王栋，程文进 （中国电子科技集团公司第四十八研究所科技发展部） 摘 要：本文首先简要介绍了太阳能光伏产业的发展概况，接着叙述了国内外晶体硅太 阳能光伏制造装备发展现状及趋势，并简单介绍了中国电子科技集团公司第四十八研 究所光伏制造装备产业化发展情况。 关键词：晶体硅 太阳能 光伏 制造装备 产业化 1 前言 片）、越来越薄（300 μm——270 μm——210 μm——180μm） 太阳能光伏发电技术的开发始于20世纪50年代。随着全 的硅片工艺。尤其是德国，已成功地推出了代表国际最先进水 球能源形势趋紧，太阳能光伏发电作为一种可持续的能源替 平的、几乎不需要人工干预的适合210mm ×210mm方硅片生产 代方式，于近年得到迅速发展，并首先在太阳能资源丰富的国 的全自动生产线设备。现今国际典型的大生产线，其产能已从 家，如德国和日本，得到了大面积的推广和应用。在国际市场 5年前的每条线几兆瓦发展到了25兆瓦（MW）甚至50MW。 和国内政策的拉动下，中国的光伏产业逐渐兴起，并迅速成为 德国Centrotherm公司：专业生产太阳能电池设备，可提供 后起之秀，涌现了一大批优秀的光伏企业，带动了上下游企业 全套太阳能电池生产设备及技术，其高产能环保型扩散炉、管 的发展，中国光伏发电产业链正在形成。 式PECVD、烘干/烧结炉、清洗腐蚀制绒设备以及周边PN结刻 虽然太阳能光伏发电成本较高，但随着技术的进步，以及 蚀设备等代表了当今世界的最高水平，占领了国际上主要的高 其他能源利用形式的逐渐饱和，太阳能有着不可估量的发展潜 端生产线市场，近两年始终处于满负荷生产状态。 力。最近十年世界太阳能电池产量平均增长率为40%，最近5 年平均增长率为45.4%，最近3年的平均增长率超过50%，太阳 能可以在2030之后成为主流能源利用形式。因此，光伏产业已 成为世界发展最快的高新技术产业之一，并且带动了一系列与 之相关的产业，特别是光伏制造装备产业。 2 国内外光伏制造装备发展现状及趋势 2.1 国外光伏制造装备发展现状 以德国、意大利为代表的欧洲设备制造商和日本、美国 设备制造商代表了当今世界相关设备的最高技术水平，其技 术特征为产能高、自动化程度高并且适合越来越大（从最初 的103mm×103mm、发展到目前主流125mm×125mm方硅片、 156mm×156mm方硅片，及未来两年的210mm ×120mm方硅 图1 德国Centrotherm公司太阳能电池生产线 22 2010.03 晶体硅太阳能电池制造设备 SOLAR CELL （1）提高单机自动化水平、增加批次装片量、提高单机 生产效率。 （2）设备间机械手自动转送、在线检测、提高整线生产 效率、减少人工干预，降低碎片率。 （3）将更先进的工艺技术物化于设备，进一步提高太阳 能电池的光电转换效率、降低每瓦成本。 （4）适合大尺寸（从最初的适用于103mm×103mm 、 125mm×125mm方硅片发展到目前主流的156mm×156mm