晶圆制造单元的Petri网建模和性能分析.pdfVIP

晶圆制造单元的Petri网建模和性能分析 周炳海，潘青枝，王世进 (上海交通大学机械与动力工程学院，上海200240) E-mail：bhzhou@sjtu．edu．cn 摘 要：晶圆制造是半导体制造过程中的一个重要环节，晶圆制造单元的性能直接影响晶圆制造的成本。为了有效地分 析晶圆制造单元的动态性能。分别对加工设备存在瓶颈和搬运机器人存在瓶颈的两种情况，进行了赋时Petri网建模研 究，建立了晶圆制造单元的赋时Petri网模型。在此基础上，进行了稳态生产率分析，同时用实例验证了模型的有效性和 实用性。 关键词：晶圆制造；赋时Petri网；建模；性能分析 文献标识码：A 中图分类号：TP391；TP278 文章编号：1002—8331(2006)35—0222—04 forClusterTools andPerformance PetriNets Modeling AnalysisUsing ZHOU Bing-hai，PANQing-zhi，WANGSM_jin ofMechanical (School University，Shanghai200240，China) Engineering，ShanghaiJiaotong itscostis affected Abstract：Insemieonductor fabricationis a element，and manufacturing，wafer key by山e ofWafer Cluster orderto oftheWFCT performanceFabricationTool(WFCT)directly．Inanalyzedynamicperformance WFCT methodoftimedPetrinetsis studiedintwocases--machinebottleneckand blade effectively．amodeling sin尊e robotic timedPetrinetmodelsoftheWFCTarebuilt．Onthebasisofmentioned bottleneck，and above， transporter oftheWFCTare thenumerical aleusedto the and steady—statethroughputs discussed．Finally examples verifyvalidity ofthemodels． practicality words：wafer Petri Key fabrication；timednets；modeling；performanceanalysis 在半导体制造过程中，晶圆制造是一个流程高度复杂，资 示单臂机器人，每次只能搬运一个晶圆。为了进一步明确图1 金高度密集．由多个功能相对独立的晶圆制造单元(WFCT，的WFCT的工作过程．将作如下描述： WaferFabr