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晶圆制造物料运输系统实时调度方法.pdf
第37卷第2期 计算机工程 2011年1月
201l
、，01．37 No．2 Engineering January
Computer
文献标识码：A THl66
·工程应用技术与实现· 文章编号t 1000—3428(20llJ02_-0238一-02 中圈分类号t
晶圆制造物料运输系统实时调度方法
孙寅斌，吴立辉，张洁
(上海交通大学计算机集成制造研究所，上海200240)
摘要：Interbay物料运输系统的运行效率对晶圆制造系统的影响较大。为减少运输小车平均搬运工件时间、晶圆工件的等待时间和运输
小车的临时性堵塞，提出一种基于匈牙利算法的实时调度方法，并建立工件调度模型。基于300mm晶圆制造系统数据的仿真结果表明，
与传统的Interbay物料运输调度方法相比，该厅法能有效提高Interbay物料运输系统的综合性能。
关健词：晶圆制造；匈牙利算法；自动物料运输系统
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