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标准单元可制造性分级 张子文1，龚 敏1，陈 岚2 (1．四川大学物理科学与技术学院微电子技术四川省重点实验室四川成都610064； 2．中国科学院微电子研究所共性技术研究室北京 100029) 摘 要：随着制造工艺尺寸的缩小，可制造性不只是工厂需要关注的问题，更是设计者需要考虑的重点。从而提高良率 和版图面积的利用率。为了使设计者更好地理解和控制可制造性．对标准单元的可制造性分级显得尤为重要。用加权重的 方法对标准单元进行可制造性分级，该方法不但包含可制造性规则对版图的约束，还创新性地把工艺参数变化对其造成的 影响考虑了进去。用一套简化的可制造性规则和版图来演示此种分级方法的实现，并用模拟结果验证了它的有效性。该分 级方法具有统一性和标准性，可以被广泛采用。 关键词：可制造性；标准单元；权重；光刻模拟 中图分类号：TN40 文献标识码：B 文章编号：1004—373X(2008)24—034—03 StandardDFM Cell Grading ZHANGZiwenl，GONGMinl，CHENLan2 (1．Micro—electronicsKeyLabofSiehuanProvince，Schoolof Scienceand Technology Physical Technology，Sichuan 2．EDACenter，Chineseof AcademyScience．Beijing。100029，China) to the and Abstract：Inorder andcircuit shouldconsiderthe for improveyieldproductivity，bothfoundry designers Design standardeell more to Manufacturability(DFM)asprocessgeometricshrink．Therefore．gradingseems and urgentimportant understandandcontrolDFM．Thisuses tO standardcell．Thisnewmethodin— helpdesigners paperweightingapproachgrade both rulerestrictionand affect．Thisusesasetof DFM tO eludesdesign processparameter paper rulesand simplified layout the ituseslitho—simulationtOvalidatetheeffectivenessofthis implementgradingapproach．Then approach．Thisgrading isunifiedandstandardized，SOitcanbe used． method wildly