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自动化搬运系统台车行走时的轨道振动
* ? 2012 TSMC, Ltd * * ? 2012 TSMC, Ltd * Security C – TSMC Secret 本學期課程規劃 : 6/21 期末考方式 題目: (四擇一) Wet clean process - DIW tank clean efficiency improve (如何以流場或機械力方式提升洗淨能力) 如何減輕自動化搬運系統台車行走時的軌道振動 (低頻or高頻, 如何設計減振機構) 以台積十四廠巨大的廠房 (800mx200m), 如何充份運用外牆及地面, 從事節能省碳 (需有建制成本分析, 回收投資年份預估, 成效分析, 維護成本, 人力) Spin Coating process – 在均勻塗布的要求下, 如何做到儘可能減少甩掉的浪費 (規劃 spin 的加減速曲線) 分組方式: 按照先前期中報告分組即可，不做變動 以 PPT格式撰寫, ,頁數至少10頁, 首頁要有分工說明 6/ 19 前mail 給助教, 當日需展示投影片 當日以抽籤方式安排 6 組上台報告, 每組15min (自願者全組加5分) 課後依紙本報告評分 提示: 請以量化或建立Model 型式(以何理論依據) 探討, 不要只以定性描述 DIW tank clean efficiency improve 自動化搬運系統台車行走時的軌道振動 Fab14 GigaFab 節能減碳 Coating 光阻減量 厚度及平坦度Control 光祖液噴塗量 1 CC 快速完成噴塗 * ? 2012 TSMC, Ltd * * ? 2012 TSMC, Ltd * Security C – TSMC Secret
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