基于TDLAS的痕量气体浓度探测技术研究-物理电子学专业论文.docxVIP

Classified Index: TH741 U.D.C: 621.38 Dissertation for the Master Degree in Engineering RESEARCH OF DETECTION TECHNOLOGY OF TRACE GAS CONCENTRATION BY TDLAS Candidate： Wang Zilong Supervisor： Prof. Yao Yong Co-Supervisor： Doc. Chen Yunliang Academic Degree Applied for： Master of Engineering Speciality： Physical Electronics Affiliation： Shenzhen Graduate School Date of Defence： December, 2010 Degree-Conferring-Institution： Harbin Institute of Technology 摘 要 随着我国工业的迅速发展，由于大量燃烧煤炭、石油所产生的化学物质以废 气和烟尘等形式排放到大气中，给人们的生活、生产和身体健康带来有害影响， 开展对环境空气中的痕量污染气体的监测研究具有迫切意义。在大气污染检测领 域，传统的方法是采用化学方法，这些方法的采样时间长，且测量结果容易受其 它气体干扰，然而光谱学方法尤其是可调谐二极管激光吸收光谱术(TDLAS)具有速 度快、高灵敏度、高选择性等优势。研究基于近红外可调谐二极管激光器的激光 吸收光谱技术用于对痕量污染气体检测具有重要的意义。 本文研究了 TDLAS 的基本原理，基于 TDLAS 的波长调制方法设计了实验系 统。根据波长调制实验系统各个器件的物理意义，建立相应的系统函数模型，其 中包括纯频率调制模型和加进强度调制因素后的频率调制模型。以水气在常温常 压下 1392.5nm 处的吸收峰为研究对象，并在这种情况下利用洛伦兹线型函数来模 拟分子吸收线，利用软件仿真分析系统参数对谐波信号的影响，重点考虑了强度 调制因素的作用。 研究结果表明，二次谐波信号最适合作为气体痕量检测应用；增大调制系数 使二次谐波信号曲线形状被展宽；存在一个使谐波信号峰值达到最大的调制系数； 二次谐波信号峰值幅度与气体浓度呈正比例线性关系；激光器的强度调制因素使 二次谐波信号的峰值发生了较小的偏移，但最明显的变化是信号曲线两侧的不对 称性；探测相位则对二次谐波信号整体形状均有影响。其中激光器强度调制因素 的影响是在实验中很难解释的，而在本文中将深入研究其原因。 波长调制实验系统的性能受到探测器噪声、激光器额外噪声、激光器对光学 反馈的敏感性、结电流扰动和光学干涉条纹等因素的限制，本文最后将分析这些 限制因素。 关键字：波长调制方法；二次谐波信号；调制系数 Abstract With the rapid development of our national industry, chemical substances produced by burning of coal and petroleum are in the form of exhaust and dust in the atmosphere. These will bring harmful effects to people’s lives, production and health. Carrying out the monitoring studies of trace gases of pollution of the environment is urgent. In the testing field of air pollution, the traditional method use chemical methods, but these methods need a longer time for sampling, and the measurement results are vulnerable to interference of other gases. While spectroscopy methods in particular tunable diode laser absorption spectroscopy (TDLAS) has advantages of high fast, high sensitivity and high selectivity. Studying of tunable diode laser absorption spectroscopy and using it