YS/T 28-2015硅片包装.pdf

ICS29.045 H 80 中华人民共和国有色金属行业标准 / — YST28 2015 代替 / — YST28 1992 硅 片 包 装 Packaeofsiliconwafers g ㅤㅤㅤㅤ 2015-04-30发布 2015-10-01实施 中华人民共和国工业和信息化部 发 布 / — YST28 2015 硅 片 包 装 1 范围 本标准规定了硅片的包装。 、 、 、 ( ) 本标准适用于硅单晶抛光片 外延片 SOI等硅片的洁净包装 硅单晶研磨片 简称硅研磨片 包装 , 、 。 和太阳能电池用硅片包装 使其在运输 贮存过程中避免再次沾污和破碎 2 规范性引用文件 。 , 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 凡是注日期的引用文件 仅注日期的版本适用于本文 。 , ( ) 。 件 凡是不注日期的引用文件 其必威体育精装版版本 包括所有的修改单 适用于本文件 / 硅单晶抛光片 GBT12964 / 硅单晶切割片和研磨片 GBT12965 / 硅外延片 GBT14139 / 半导体材料术语 GBT14264 / 太阳能电池用硅单晶切割片 GBT26071 / 太阳电池用多晶硅片 GBT29055 / 硅单晶抛光片 GBT29506 300mm ㅤㅤㅤㅤ GB50073 洁净厂房设计规范 3 术语和定义 / 界定的以及下列术语和定义适用于本文件。 GBT14264 3.1 洁净包装 clean ackae p g 用专用的运输片盒对抛光片、 、 , 、 、 外延片 SOI等晶片进行包装 使其在运输 贮存过程中避免颗粒 金