电子能量分析器.docx

1IEPEC NA 1IONAI. LABORA 1ORY POR PHYSICAL SCIENCES AT MICROSCALE 1IEPEC NA 1IONAI. LABORA 1ORY POR PHYSICAL SCIENCES AT MICROSCALE 第4章电子能谱仪构造 电子能谱仪的一般构造 超高真空系统（UHV） 3.激发源 电子能量分析器与检测器 样品的制备和处理 数据系统 常用附件（中和枪与离子枪） o血舵禺匡更场唆外多囲龄乡（釣 ?电子能谱仪一般由超 ?电子能谱仪一般由超 电子能谱仪的一般构造 高真空系统、激发源 （X射线光源、UV光源、 电手枪）、由子能量 分析器、检测器和数 据系统，以及其它附 件等构成。 ?现以Thermo-VG公司生 R^ESCALAB 250高性 能电子能谱仪为例， 说明其主要仪器结构。 諭程舱檄左废爲幣榜囿除纨釣 电子能谱仪结构框图(Instrumentation) 》血/把禺匡更场摯梅囲rt 》血/把禺匡更场摯梅囲rt龄乡（筹） 1IEPEC NA 1IONAI. LABORATORY POR PHYSICAL SCIENCES AT MICROSCALE 》血/把禺匡更场摯梅囲rt 》血/把禺匡更场摯梅囲rt龄乡（筹） 1IEPEC NA 1IONAI. LABORATORY POR PHYSICAL SCIENCES AT MICROSCALE 1IEPEC NA 1IONAI. LABORA 1ORY FOR PHYSICAL SCIENCES AT MICROSCALE 1IEPEC NA 1IONAI. LABORA 1ORY FOR PHYSICAL SCIENCES AT MICROSCALE I /fc/把機匡更场攀梅囲龄乡（筹） 超高真空系统（UHV） 超高真空系统（UHV） ?超高真空系统是进行现代表面分析及研究的主要部分。谱仪的光源 等激发源、样品室、分析室及探测器等都应安装在超高真空中。对 真空系统的要求是高的抽速，真空度尽可能高，耐烘烤，无磁性， 无振动等。通常超高真空系统真空室由不锈钢材料制成，真空度优 于5X1O-10 mbaro现在所有商业电子能谱仪都工作在10 ^1010 mbar的超高真空范围下。 ?超高真空系统一般由多级组合泵来获得。ESCALAB 250电子能谱 仪的真空系统主要靠磁浮涡轮分子泵来获得，其前级由机械泵维持, 另外在分析室还可加装一离子泵和钛升华泵，这样在样品分析室中 真空度可优于1X10-1° mbaro钛升华泵都常作为辅助泵以便快速 达到所需要的真空度。 ?超高真空室和相关的抽气管道等通常用不锈钢材料来制成，相互连 接处使用具有刀口的法兰和铜垫圈来密封。样品分析室和能量分析 器更用Mu金属（高磁导率材料Ni77Fe16Cu5Cr2或Mo2）制造。 4.2.1.超高真空的必要性 得戯‘ 使浓程 ，的由 所体平 子气的 分余长 体残够 气小足 余减得 残来获 被术能 易按才 ??蓉疋工子 呢很真电 空号要能 真信须低 S子必‘ 駅电以下 隔能体i F o 用低，条掉的10需秦浓的 釆的弱董要在表就技质质要分质1 (02 要析减聶重。体中析杂畫在性2 器分号頁为的固程蛊的分会的EP 端H昜在过繁$不空证t 型，总奩，必黑灵对蹩面真气间 么先的有不需睪面。算表高时 什首谱只而聶体在表多產证超成 =百 - 保 得但I 显r$,J 表了。蠹的行 專太清衣表加 看常舄洁HV 态比面它约清(U 蕭襲谨此中 分侥聲求检。真 面戲集持番譬 表大釆保H 是，图来男的在 境汴谱境第观要。 蛊的环專可需染 遥畧面面屠污 真rw典真表表引分被 高)ar与高品前会面中 超mb这超样当也表程 是-6n，要瓠度。过 层 台一\E- S 05 1 勺能檄匡更场償外多囲龄炒（筹）flEPEC NATIONAL LABORATORY POR PHYSICAL SCIENCES AT MICROSCALE 勺能檄匡更场償外多囲龄炒（筹） flEPEC NATIONAL LABORATORY POR PHYSICAL SCIENCES AT MICROSCALE 勺能檄匡更场償外多囲龄炒（筹）flEPEC NATIONAL LABORATORY POR PHYSICAL SCIENCES AT MICROSCALE 勺能檄匡更场償外多囲龄炒（筹） flEPEC NATIONAL LABORATORY POR PHYSICAL SCIENCES AT MICROSCALE Why UHV for Surface Analysis? 压强TorrLow VacuumMedium VacuumHigh VacuumUltra-High Vacuum