二次配讲课课件.ppt

4. Common Issue 4.5.3 Trouble shooting of Hook up 设备故障—与动力有关，或FAB内动力系统异常 厂务主系统故障 EE 联络厂务值班 Work day 8:00~17:30 厂务/设备/厂商 立刻处理故障 厂务值班人员 联络主系统 水/气 /电/机械 动力Hookup故障 Work day 17:30~next day8:30 Holiday 0:00~24:00 轻微故障 重大故障 应急处理后，下一个工作日处理 EE 联络Hook Up 人员 二次配全文共34页，当前为第32页。 4. Common Issue 4.6 Usage of gas regulator Open/Increase:Turn head clockwise 开启/增加：顺时针旋转阀帽 Close/Decrease: Turn head anticlockwise 关闭/减小：逆时针旋转阀帽 Pump Down hook up gas panel (unless necessarily) 抽真空到二次配管气体盘面/送气： （一般机台抽真空到机台侧第一颗阀即可；除非特别要求，才抽真空到厂务气体盘面。） Before pumping down the gas panelline, close the isolation valve, increase the regulator to Max, then pump down gas line to vacuum. You must Decrease the regulator before turn on the gas, otherwise you will damage the diaphragm at once.The right way to turn on gas is: At fist open the isolation valve slowly,then increase the regulator slowly to needed pressure. Isolation valve 手动阀 Regulator 调压阀 在为厂务气体管路抽真空到盘面之前，现确定关闭手动阀，然后将调压阀顺时针调到最大，同时请不要用力过度。之后，方可开始抽真空。抽完真空之后，万万不可快速打开手动阀，否则瞬间的压力冲击可能会立即损伤调压阀隔膜片。正确的送气方法是：在真空状态下，将调压阀逆时针关闭，然后缓慢开启手动阀，建议在30秒左右时间转动90度，然后再顺时针缓慢开启调压阀，直到所需要的压力。 Facility hook up panel 厂务气体盘面 二次配全文共34页，当前为第33页。 消防/防火材/防火填縫 縫隙/護欄處理 地震防護 /固定 / 錨定 標籤/標示/危害警示 銳角/毛邊/收邊處理 符合規格/設計圖 聯接正確 . Line by Line . Point to Point 容量 . Sizing ( Filter, Valve, Regulator, CV, Tubing, Fitting, etc. ) 微污染,雜質. 含氧量/含水量 觀瞻 . 高科技高潔淨 . 收束/整理 標準化 . 符號/顏色/字體,... 初始值 . 校正 . 標準比對 . 紀錄 符合原設計材料 . 管材,管件,… . 標準施工法 . 制式化 維修保養 . 空間/路徑 . 方便性 Power / Gas / Chemical Turn on Procedure VCR Gasket 必須鎖好 (耐壓/漏率/接頭Torque) 防止回流及滲漏 . 上端,側面插管 . 回流收集裝置 高電壓/高壓力耐壓規格 (絕緣與耐壓測試) 夾表/掛牌/開度記號 Hookup 驗收要項 其它 品質 功能 安全 安全接地 / 防爆設施 Local Regulation * Electrical,HVAC,... * DI, PCW,CW,... * B-Gas,S-Gas,CDA,... * Chemical,Solvent,... Schedule Safety S.Q.C.D.S Space Cost Quality 最經濟運轉值 Anti-Vibration . Piping Support . Fac System . EQ Accessories 規格 / Log . 抗酸 / 耐蝕 / . 防漏 / 防滴 / 防塵 電力, 信號接點必須鎖緊 (接點溫度/接頭Torque)