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JJF XXXX-20XX 激光光束分析仪校准规范 1 范围 本规范适用于光束宽度（0.2~10 ）mm 范围内激光光束分析仪的校准。其他 光束宽度范围的激光光束分析仪校准可参照本规范执行。 2 引用文件 本规范引用了下列文件： GB/T 13739—2011 激光光束宽度、发散角的测试方法以及横模的鉴别方法 GB/T 15313—2008 激光术语 GB/T 26599.1—2011 激光和激光相关设备 激光光束宽度、发散角和光束 传输比的试验方法 第1 部分：无像散和简单像散光束 凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范；凡是不注日期的引用文件， 其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本规范。 3 术语 见附录D 。 4 概述 激光光束分析仪是测量激光空域参数特性的仪器，用于激光光束截面的相对 功率 （或能量）空域分布、光束宽度、光束传输比等参数的测量。激光光束分析 仪主要有两种类型：一种用于测量激光光束宽度或光束直径，也叫激光光束轮廓 仪，简称光束轮廓仪；另一种用于测量激光光束传输比，也叫激光光束质量分析 仪，简称光束质量分析仪。二者统称激光光束分析仪，简称光束分析仪。 光束轮廓仪由探测器和数据采集分析软件组成。探测器分为阵列式探测器、 第 1 页 JJF XXXX-20XX 狭缝扫描式探测器和刀口扫描式探测器等，其中阵列式探测器较为常见，如 CCD 。探测器主要用于测量激光束横截面内的功率密度分布。数据采集分析软件 采集、存储、分析、显示测量数据，并使用不同算法计算光束宽度。光束宽度的 计算方法主要有4σ 法、移动刀口法或移动狭缝法等。 光束质量分析仪由阵列式探测器、狭缝扫描式探测器、刀口扫描式探测器等 光束轮廓仪和导轨扫描系统构成，通过基于沿传播光束不同位置的光束宽度测量 光束束腰宽度和远场发散角等信息，与基膜束腰宽度与远场发散角乘积相比，测 量光束传输比。 5 计量特性 光束宽度相对示值误差：±8% ； 光束传输比相对示值误差：±10% 。 注：以上指标不适用于符合性判定，仅供参考。 6 校准条件 6.1 环境条件 6.1.1 环境温度：（25±5 ）℃，校准期间内温度变化不大于2 ℃； 6.1.2 相对湿度：≤75%，校准期间内相对湿度变化不大于3% ； 6.1.3 背景辐射：在暗室操作，或对背景辐射采取屏蔽措施，如紧贴探测器加滤 光器等。 6.1.4 其它：校准区域内无可感觉到的空气波动、热辐射，无影响测量数据的振 动和电磁干扰。 6.2 测量标准及其他设备 6.2.1 标准光束分析仪 a) 光束宽度测量范围：(0.2~10) mm ； b) 光束宽度测量不确定度：U =3% （k ＝2 ）； rel c) 光束传输比测量不确定度：U =3% （k ＝2 ）。 rel 第 2 页 JJF XXXX-20XX 6.2.2 激光器 a) 横模模式：TEM00 基横模。尽量选用无像散光束的激光器，例如光束质 量良好的氦氖激光器；对于特殊校准波长，可选用简单像散光束的激光器； b) 工作方式：连续波输出； c) 光束宽度范围 （可配扩束器和/或缩束器）：(0.2~10) mm ； d) 光束宽度不稳定度：优于±1%/h 。 6.2.3 光学元件 校准使用的扩束器、缩束器、衰减器等光学元件本身，及其产生的透射、反 射、衍射等效应，应对光束功率密度分布无明显影响，衰减器应对光束宽度测量 结果无明显影响。 7 校准项目和校准方法 7.1 校准项目 光束宽度相对示值误差、光束传输比相对示值误差。 7.2 校准前准备