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JJF XXXX-20XX
激光光束分析仪校准规范
1 范围
本规范适用于光束宽度(0.2~10 )mm 范围内激光光束分析仪的校准。其他
光束宽度范围的激光光束分析仪校准可参照本规范执行。
2 引用文件
本规范引用了下列文件:
GB/T 13739—2011 激光光束宽度、发散角的测试方法以及横模的鉴别方法
GB/T 15313—2008 激光术语
GB/T 26599.1—2011 激光和激光相关设备 激光光束宽度、发散角和光束
传输比的试验方法 第1 部分:无像散和简单像散光束
凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本规范;凡是不注日期的引用文件,
其必威体育精装版版本(包括所有的修改单)适用于本规范。
3 术语
见附录D 。
4 概述
激光光束分析仪是测量激光空域参数特性的仪器,用于激光光束截面的相对
功率 (或能量)空域分布、光束宽度、光束传输比等参数的测量。激光光束分析
仪主要有两种类型:一种用于测量激光光束宽度或光束直径,也叫激光光束轮廓
仪,简称光束轮廓仪;另一种用于测量激光光束传输比,也叫激光光束质量分析
仪,简称光束质量分析仪。二者统称激光光束分析仪,简称光束分析仪。
光束轮廓仪由探测器和数据采集分析软件组成。探测器分为阵列式探测器、
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狭缝扫描式探测器和刀口扫描式探测器等,其中阵列式探测器较为常见,如
CCD 。探测器主要用于测量激光束横截面内的功率密度分布。数据采集分析软件
采集、存储、分析、显示测量数据,并使用不同算法计算光束宽度。光束宽度的
计算方法主要有4σ 法、移动刀口法或移动狭缝法等。
光束质量分析仪由阵列式探测器、狭缝扫描式探测器、刀口扫描式探测器等
光束轮廓仪和导轨扫描系统构成,通过基于沿传播光束不同位置的光束宽度测量
光束束腰宽度和远场发散角等信息,与基膜束腰宽度与远场发散角乘积相比,测
量光束传输比。
5 计量特性
光束宽度相对示值误差:±8% ;
光束传输比相对示值误差:±10% 。
注:以上指标不适用于符合性判定,仅供参考。
6 校准条件
6.1 环境条件
6.1.1 环境温度:(25±5 )℃,校准期间内温度变化不大于2 ℃;
6.1.2 相对湿度:≤75%,校准期间内相对湿度变化不大于3% ;
6.1.3 背景辐射:在暗室操作,或对背景辐射采取屏蔽措施,如紧贴探测器加滤
光器等。
6.1.4 其它:校准区域内无可感觉到的空气波动、热辐射,无影响测量数据的振
动和电磁干扰。
6.2 测量标准及其他设备
6.2.1 标准光束分析仪
a) 光束宽度测量范围:(0.2~10) mm ;
b) 光束宽度测量不确定度:U =3% (k =2 );
rel
c) 光束传输比测量不确定度:U =3% (k =2 )。
rel
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6.2.2 激光器
a) 横模模式:TEM00 基横模。尽量选用无像散光束的激光器,例如光束质
量良好的氦氖激光器;对于特殊校准波长,可选用简单像散光束的激光器;
b) 工作方式:连续波输出;
c) 光束宽度范围 (可配扩束器和/或缩束器):(0.2~10) mm ;
d) 光束宽度不稳定度:优于±1%/h 。
6.2.3 光学元件
校准使用的扩束器、缩束器、衰减器等光学元件本身,及其产生的透射、反
射、衍射等效应,应对光束功率密度分布无明显影响,衰减器应对光束宽度测量
结果无明显影响。
7 校准项目和校准方法
7.1 校准项目
光束宽度相对示值误差、光束传输比相对示值误差。
7.2 校准前准备
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