200W~30000W激光功率计校准规范.pdfVIP

JJF XXXX-202X 200W~30000W 激光功率计校准规范 1 范围 本规范适用于400 nm～11 μm 波长范围内200 W～30000 W 功率范围的激光 功率计的校准。其它范围的激光功率计校准可参照本规范执行。 2 概述 激光功率计是用于测量激光辐射功率的仪器，通常由激光功率探测器和显示 仪表组成。其工作原理是激光辐射功率被吸收或反射后，直接或间接转变为电信 号，在显示仪表中经信号处理，显示为被测激光功率量值。 按照测量原理分类可分为量热式、取样式和光压式。按照散热方式分类可分 为自然散热型、风冷型和水冷型。按照工作模式可分为功率型和能量型，其中能 量型激光功率计对激光照射时长有严格要求，通常为 1s、10s 或 20s 。 3 计量特性 修正因子：0.8~1.2 。 注：以上指标不是用于合格性判别，仅供参考。 4 校准条件 4.1 环境条件 4.1.1 环境温度：（23 ±5 ）℃。 4.1.2 相对湿度：≤80%。 4.1.3 其他要求：校准区域内无影响测量数据的振动、电磁干扰和背景辐射。 4.2 计量标准器和主要其他设备 4.2.1 标准激光功率计 4.2.1.1 功率测量范围：200 W~30000 W 。 4.2.1.2 相对扩展不确定度：≤5% 。 注：标准激光功率计由一系列激光功率计组成，某个激光功率计仅覆盖部分波长范围和 功率范围。 4.2.2 激光器 4.2.2.1 工作波长：400 nm～11 μm，光谱半高全宽≤10nm。 4.2.2.2 输出功率范围：200 W~30000 W 。 1 JJF XXXX-202X 注：激光器通常仅覆盖部分工作波长和功率调节范围。 4.2.2.3 功率不稳定度：≤0.5% （10min）。 4.2.2.4 激光光束直径：10 mm~30 mm。 注：激光器输出功率越高，激光光束直径应越大，以避免对激光功率计造成损伤。通常 最大输出功率 1000W 的激光器光束直径应不小于 10mm，最大输出功率3000W 的激光器光 束直径应不小于 20mm ，最大输出功率 10000W 的激光器光束直径应不小于30mm 。 4.2.2.5 指示光清晰可见。 4.2.3 其他设备 4.2.3.1 激光器控制器或控制软件：用于控制激光器输出功率和输出时间。 4.2.3.2 激光准直镜：用于对激光器进行扩束准直。 4.2.3.3 温控水冷机：一台用于激光器温控，另一台用于水冷型激光功率计的温 控。 4.2.3.4 激光防护眼镜及其他激光防护设备：用于高功率激光器的安全防护。 5 校准项目和校准方法 5.1 校准项目 激光功率计功率测量示值修正因子。 5.2 校准前准备 仪器校准前，先对激光功率计外观进行检查，目测是否有影响计量性能的碰 伤、划痕以及影响测量的其他缺陷，重点检查探测器吸收靶面是否有严重损伤。 运行激光器配套水冷机，使激光器处于稳定工作状态。 5.3 校准方法 当激光器最大输出功率小于 3000W 时，优先采用水冷型量热式功率计作为 标准功率计，并采用替代法进行校准。 当激光器最大输出功率大于 3000W 时，优先采用光压式功率计作为标准功 率计，并采用同步比较法进行校准；也可采用水冷型量热式功率计作为标准功率 计，并采用替代法进行校准。 5.3.1 替代法 图4 校准装置示意图 将指示光对准标准激光功率计探测面中心，且光束传输方向与功率计探测面 2 JJF XXXX-202X 保持垂直。 将标准激光功率与水冷机连接，并将水流量设置为合适的大小，水流量应不 小于功率计规格要求的额定值。冷却水 1min 内温度波动应不超过 1℃，并应尽 量避免在水冷机启动制冷时进行出光测试。 设置激光功率计的量程范围与激光波长。通过激光器控制器或控制软件设置 激光器输出功率与输出时间后，使激光器出光，用标准激光功率计测量激光器的