JJF 1917-2021 显微标尺校准规范.docx

中华人民共和国国家计量技术规范 JJF 1917—2021 显微标尺校准规范 Calibration Specification for Micropattern Standards 2021-07-28发布 2022-01-28 实施 国 家 市 场 监 督 管 理 总 局 发布 中 华 人 民 共 和 国 国 家 计 量 技 术 规 范 显微标尺校准规范 JJF 1917—2021 国家市场监督管理总局发布 关 中国标准出版社出版发行 北京市朝阳区和平里西街甲2号(100029) 北京市西城区三里河北街16号(100045) 网址 总编室：(010发行中心：(010读者服务部：(010中国标准出版社秦皇岛印刷厂印刷 各地新华书店经销 著 开本880×1230 1/16 印张1 字数31 千字 2021年8月第一版 2021年8月第一次印刷 关 书号：155066 ·J-3920 定价 18.00元 如有印装差错 由本社发行中心调换 版权专有 侵权必究 举报电话：(010JJF 1917—2021 显微标尺校准规范 Calibration Specification for Micropattern Standards JJF 1917—2021 归 口 单位：全国几何量长度计量技术委员会 主要起草单位：山西省计量科学研究院 江苏省计量科学研究院 中国计量科学研究院 参加起草单位：浙江省计量科学研究院 贵州省计量科学研究院 本规范由全国几何量长度计量技术委员会负责解释 JJF 1917—2021 本规范主要起草人： 晏 浩(山西省计量科学研究院) 王晓飞(江苏省计量科学研究院) 孙双花(中国计量科学研究院) 薛 梓(中国计量科学研究院) 杨伟敏(山西省计量科学研究院) 参加起草人： 岩君芳(山西省计量科学研究院) 茅振华(浙江省计量科学研究院) 吕小洁(贵州省计量科学研究院) JJF 1917—2021 I 目 录 引言 (Ⅱ) 1 范 围 ( 1) 2 概 述 ( 1) 3 计量特性 ( 2) 3.1 线纹间距 ( 2) 3.2 网格间距 ( 2) 3.3 角 度 ( 2) 3.4 直 径 ( 2) 4 校准条件 ( 2) 4.1 环境条件 ( 2) 4.2 校准用标准装置 ( 3) 5 校准项目和校准方法 ( 3) 5.1 校准的一般规则 ( 3) 5.2 线纹间距 ( 3) 5.3 网格间距 ( 4) 5.4 角 度 ( 4) 5.5 直 径 ( 4) 6 校准结果的处理 ( 4) 7 复校时间间隔 ( 5) 附录A 显微标尺线纹间距的测量不确定度评定示例(一) ( 6) 附录B 显微标尺线纹间距的测量不确定度评定示例(二) ( 8) 附录C 标准证书内容 ( 10) JJF 1917—2021 Ⅱ 引 言 JJF 1071 《国家计量校准规范编写规则》、 JJF 1001 《通用计量术语及定义》和 JJF 1059.1 《测量不确定度评定与表示》共同构成支撑本规范制定工作的基础性系列 规范。 制定本规范的目的主要是解决 GB/T 2985—2008 《生物显微镜》、 JB/T 10077— 1999《金相显微镜》中线纹标尺及JJG 571—2004 《读数、测量显微镜》、 JJF 1402— 2013《生物显微镜校准规范》、 JJF 1914—2021 《金相显微镜校准规范》中线纹标准器 的校准。 以上标准、规程和校准规范中的线纹标尺、线纹标准器等在本规范中统称显微标 尺，归类于JJF1022—2014 《计量标准命名与分类编码》中“显微标尺标准器”(代码。 本规范为首次发布。 JJF 1917—2021 1 显微标尺校准规范 1 范围 本规范适用于刻线宽度为0.3μm 及以上一维或二维显微标尺的校准。 2 概述 显微标尺是用于校准生物显微镜、金相显微镜、读数显微镜等光学显微仪器及其配 套软件示值和放大率等技术参数的一维或二维标准器，也指此类仪器用于观察测量显微 图像的目镜标尺。显微标尺包含点、线、圆、矩形、十字等一种或多种几何图案，图案 包含有宽度、间距、直径、面积和角度等量值信息。显微标尺通常以透明玻璃或金属为 基底；依据制造方式，分为刻槽、光复印和刻蚀工艺制造；依据图案呈现方式，分为透 射或反射类型；依据用途，分为镜台测微尺、目镜测微尺等。 镜台测微尺是包含多种几何图案的载玻片。通常的镜台测微尺中央有长 (1～2)mm 的测