JJF 1916-2021 扫描电子显微镜校准规范.docx

中华人民共和国国家计量技术规范 JJF 1916—2021 扫描电子显微镜校准规范 Calibration Specification for Scanning Electronic Microscopes (SEM) 2021-07-28发布 2022-01-28实施 国 家 市 场 监 督 管 理 总 局 发 布 JJF 1916—2021 扫描电子显微镜校准规范 Calibration specification for Scanning Electronic Microscopes(SEM) JJF 1916—2021 代替 JJG 550—1988 归 口 单位：全国几何量长度计量技术委员会 主要起草单位： 中国计量科学研究院 参加起草单位：广州市计量检测技术研究院 浙江省计量科学研究院 上海市计量测试技术研究院 山东省计量科学研究院 本规范委托全国几何量长度计量技术委员会负责解释 JJF 1916—2021 本规范主要起草人： 李 伟(中国计量科学研究院) 高思田(中国计量科学研究院) 施玉书(中国计量科学研究院) 参加起草人： 古耀达(广州市计量检测技术研究院) 茅振华(浙江省计量科学研究院) 傅云霞(上海市计量测试技术研究院) 赵东生(山东省计量科学研究院) JJF 1916—2021 I 目 录 引言 (Ⅱ) 1 范围 ( 1) 2 引用文件 ( 1) 3 术语和定义 ( 1) 3.1 标准样板 ( 1) 4 概 述 ( 1) 5 计量特性 ( 1) 6 校准条件 ( 2) 6.1 环境条件 ( 2) 6.2 校准用标准器 ( 2) 7 校准项目和校准方法 ( 2) 7.1 测长示值误差 ( 2) 7.2 正交畸变 ( 3) 7.3 线性失真度 ( 3) 8 校准结果表达 ( 4) 9 复校时间间隔 ( 4) 附录A 扫描电子显微镜测长示值误差的不确定度评定示例 ( 5) 附录B 比例尺校准值 ( 7) 附录C 校准证书内容及内页格式 ( 8) JJF 1916—2021 Ⅱ 引 言 JJF 1071 《国家计量校准规范编写规则》、 JJF 1001 《通用计量术语及定义》和 JJF 1059.1 《测量不确定度评定与表示》共同构成支撑本规范制修订工作的基础性系列 规范。 本规范是对JJG 550—1988 《扫描电子显微镜(试行)》的修订。修订过程中参照 了 GB/T 20307—2006 《纳米级长度的扫描电镜测量方法通则》和 GB/T 27788—2011 《微束分析 扫描电镜 图像放大倍率校准导则》。与JJG 550—1988相比，除编辑性修 改外，主要技术变化如下： ——增加了扫描电镜测长示值误差的校准； ——增加了Y 方向的测长示值误差校准； ——删除了真空度的测量； - - 删 除 了X 射线泄漏量的测量； ——增加了附录 B “比例尺校准值”。 本规范的历次版本发布情况为： ——JJG 550— 1988。 JJF 1916—2021 1 扫描电子显微镜校准规范 1 范围 本规范适用于扫描电子显微镜的校准。 2 引用文件 本规范引用了下列文件： JJF 1071—2010 国家计量校准规范编写规则 GB/T 20307—2006 纳米级长度的扫描电镜测量方法通则 凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范；凡是不注日期的引用文 件，其必威体育精装版版本(包括所有的修改单)适用于本规范。 3 术语和定义 下列术语和定义适用于本规范。 3.1 标准样板 reference artifact 具有多个等间距栅格的样板，其栅格间距经过国家法定计量检定机构校准，间距值 溯源到国家基准。 4 概述 扫描电子显微镜(以下简称“电镜”)利用聚焦的电子束在样品表面逐点扫描，电 子与样品作用产生二次电子信号以及背散射电子信号，由此获得表面形貌图像，可以达 到纳米级的分辨力。其结构示意见图1。 图1 扫描电子显微镜结构示意图 1— 电子枪；2—聚焦透镜；3—扫描线圈；4—信号探测器；5一样品；6—样品室；7一真空系统 5 计量特性 电镜计量特性见表1,性能指标供校准时参考。 JJF 1916—2021 2 表 1 电镜的计量特性 计量性能 性能指标 测长示值误差 不超过±5% 正交畸变 不超过0.5° 线性失真度 10% 6 校准条件 6.1 环境条件 环境温度：(20±5)℃;相对湿度：不超过65%。 使用的标准样板应与被测仪器放在一起等温不少于0.5 h。 实验室电磁辐射应不影响测量结果。 6.2 校准用标准器 扫描电镜校准项目所采用的标准样板为等间距栅格标准样板