AQUA控制系统操作手册.pdfVIP

AQUA 控制系统 ASC—1000 系列 中 文 说 明 书 前 言 非常感謝您採用了 AQUA SYSTEM CONTROLLER 。 為因應近幾年來的技術革新，可高精度管理蝕刻液的自動控制器成為不可或缺的機器。 本控制器乃敝公司累積多年的 「藥液控制技術」所研發出 「兼具高度信賴性及穩定性」的新 世代蝕刻液自動控制器。利用特殊設計的感測器，可個別地測定出藥液品質及添加藥液的濃 度變化，再依據 CPU 的演算，做出高速控制。能大幅改善貴公司生產線負荷變動所引起的 藥液濃度變化，及提高對應細線路的能力。更是收集 ISO 資料管理最適用的控制器。 希望各位使用者能理解本控制器的機能，並將其應用於各種範疇，進而有效地提高生產。 AQUA SYSTEM CONTROLLER 的特點 ▓ 藥液濃度變化小，能對應細線路達到高精度管理 根據高精度的感測器檢測、控制器的高速控制及高分解能力，可以迅速的對應蝕刻液的濃度 變化，將變動幅度控制在最小範圍，提高細線路的良率。另外，收集現有各基板資料，計算 一片基板的藥液使用量，在最小單位的藥液濃度管理下，可達到安定生產。 ▓ 高精度控制，降低藥液成本 因為本控制器具有計算管理的功能，能在蝕刻的同時供給必需的藥液量 （高負荷追蹤能力的 預測投入方式），防止藥液供給過多而造成浪費。 ▓ 充實的通信機能 透過電腦連結，可以遠距離操作多台控制器，並可個別控制每組參數庫的藥液消耗量解析及 管理。更可透過導入 10base-T 通信機能，資料的傳送速度可以比以往快上數倍，有利於生 產線管理的合理化。另外，如連結 LAN BOX （可加選）的話，更可長期儲存 AQUA 控制器 的所有資料，長期保存性佳。 ▓ 操作簡單的 LCD 觸碰螢幕 本控制器採用 T.F.T-LCD 觸碰面板的設計可以馬上看到點選的畫面，也可簡單輸入欲變換的 ‧ 數值。另外，為了確保其機密性更加入了消燈畫面 條狀圖表示畫面等機能。 為了使您更安心地使用 AQUA 控制器，請特別注意 本控制器所使用的警告標誌 在可能觸電的地方(如端子部及保險絲等)會貼有如左圖的「感電注 意」標誌，在接線及檢查維修時請小心作業，以防觸電。 使用本控制器的安全注意事項 為了使本控制器可以正確地，安全地使用，請務必閱讀下列的注意事項。 警 告 安 全 注 意 事 項 確認電源與接地 在啟動電源開關前，請務必確認電源配線、接地配線是否連結正確及電壓是否符 合後，才可啟動。 保險絲 請使用符合本控制器所認可(額定值內) 的保險絲。 請務必安裝保護蓋 本控制器設置連結好後，為了防止觸電及對本控制器造成損傷，請務必安裝後面 端子的保護蓋。 使用環境 請勿在有易燃性氣體及蒸氣的場所，啟動或存放本控制器，請依照操作說明書上 所指定的使用環境範圍內使用。 出現異常狀態時，請儘速關閉電源 若有惡臭、怪聲、冒煙等情況發生時，請儘速將電源關閉，並與本公司或各營業 所聯絡。 請勿取出內部裝置 因為在電源開關為 ON 的狀態下將內部取出，或將內部取出後投入電源會造成危 險，所以絕對不要取出內部裝置。 ※ 因為本機器為日本國內仕樣，國外仕樣會有部份內容不同，請注意。 JAR 日本アクア株式会社 須 知 情 報