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摘要
摘要
高速精密定位工作台是微电子制造行业中晶圆制造、芯片加工、芯片封装等
关键工序中采用的核心部件,研发兼具高速、大行程和高精度特性的精密定位工
作台己成为当前我国半导体行业的重要需求,然而高速、大行程与高精度特性之
间是一种矛盾对立关系。为解决这一问题,将音圈电机与超磁致伸缩驱动器结合,
并提出了一种大行程、高精度特性的同轴集成式宏微复合驱动器的结构方案。为
实现该宏微复合驱动器的高精度定位控制,本文分别从其磁路结构的优
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