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本发明涉及流量测量装置技术领域，具体涉及一种半导体厂务设备的管道用流量检测装置及检测方法，流量检测装置包括主体和设置于主体的中部的流量检测部，主体的内部设置用于流体通过的第一中空腔室；流量检测部包括封闭绝缘件和弹性导通件，封闭绝缘件部分设置于第一中空腔室，弹性导通件部分穿设封闭绝缘件并与外部电性导通，弹性导通件包括均设置有有效接触端和变形区域的第一分部和第二分部；有效接触端的形状对应第一中空腔室，有效接触端的端部均设置有通断触点；变形区域设置于有效接触端的背对通断触点的端部。该装置提升了半导体厂
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118089865A
(43)申请公布日2024.05.28
(21)申请号202410524179.4
(22)申请日2024.04.29
(71)申请人鸿舸半导体设备（上海）有限公司
地
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