透射电镜技术指标(final).doc

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技术指标确认书

设备名称

数量

功能及技术参数

场发射高分辨透射电子显微镜

1

一、必要功能：

材料的形貌、结构、缺陷和界面的微观分析；

二、辅助功能：

1、成分的定性和半定量分析；

2、元素的点、线和面分析

三、仪器工作条件

1、电源：220V?10%，50Hz?1％,单相;380V（?10％),50Hz?1％，三相；

2、配备相应的断电保护设备；

3、环境条件：10℃～30℃，相对湿度:70％；

4、直流磁场:水平〈80nT;垂直〈100nT;

5、安装条件：独立地线：?4欧姆；

6、可不间断连续运行.

四、主要技术指标:

1、电子枪：肖特基场发射电子枪

2、点分辨率：≤0。19nm

3、线分辨率：≤0。102nm

4、加速电压：80，100，120,160,200kV(100V/步可调）

5、加速电压稳定度:≤2ppm/min（峰峰值）

6、物镜最小聚焦步长:≤1。8nm

7、物镜球差系数：≤1。2mm

8、色差系数:≤1。4mm

9、物镜电流稳定性：≤2ppm/min

10、最小束斑尺寸：透射模式(TEM)：?2nm；微区分析模式（EDS/NBD/CBD模式）：?0.5nm

11、电子衍射：最大会聚角(CBED)≥100mrad(全角)

12、扫描透射(STEM)

探头：高角环形暗场探头(HAADF)

分辨率：≤0。2nm

最大HAADFSTEM接收角：≥13°

亮度：≥4×107A/cm2/sr

束流:1nm束斑电流≥0。5nA

能量分辨率：加速电压200kV下为0.7eV或更低

束斑漂移：1nm/min

放大倍数：优于50~100万倍；放大倍数重复性：〈10％

相机长度：80～2,000mm

相机长度和放大倍数误差小于5％

13、样品室

5轴全自动马达台（X/Y/Z/TiltX/TiltY）

样品漂移:≤1nm/min

样品复位精度：具有记忆模式功能，将样品从一个位置移动到另一个位置，且X、Y方向复位精度由于200nm

更换样品及电镜底片时，更换样品时间小于15分钟,更换底片时间小于30分钟

样品台移动尺寸：X≥2mm,Y≥2mm，Z≥±0.1mm

样品台倾斜角度:X≥±25°，Y≥±25°

样品台移动步长精度：优于3nm/步

取出角：≥20°

14、真空系统

离子泵、油扩散泵

前级机械泵

最优真空度：电子枪室：优于0。9?10-8Pa；样品室:优于2?10-5Pa

15、电镜安全保护：

可以连续使用（电子枪可以连续工作不自动熄灭）

断电、断水、失真空警报及保护，分子泵、离子泵、高压放电、变压器过热保护

16、计算机系统

电镜控制专用高速计算机和EDX配套使用计算机应等于或优于以下配置(要求均为品牌配件）

CPU：IntelCore2Duo2GHz以上

内存：DDR2G以上

独立显存:256MB以上

硬盘：300GB以上

显示器：19英寸以上液晶纯平彩显（LCD，标准屏）

刻录机：DVD-刻录机

打印机：彩色激光打印机一台（HPColorLaserJetCP1215n）或HP相等型号

操作系统：微软Windows系统

17、CCD系统及软件（注：传统的底片拍照选件保留）

底插式CCD相机

具有抗炫功能，可直接拍摄电子衍射

像素:像素：优于4000?2600

有效像素尺寸：优于9?m?9

读取速度：优于12幅/秒

耦合方式：1:1光纤耦合

CCD机头采用可伸缩设计，有效保护探头，并且便于今后仪器的扩展

CCD有效面积：≥36mm?24mm

曝光时间：1ms～100s

操作电压：最高达200Kev

动态范围：14位

闪烁器：高分辨多晶体磷

相机具有自动保护功能，便于今后仪器的扩展

免费提供CCD图像采集和图像处理软件

图像存储模式：可与tiff格式、jpg格式、emf格式、bmp格式、gif格式等转换

具备电子衍射花样分析及其它必要的配套软件，可进行动态原位实验观察和记录

配有19”液晶显示器及其通讯接口的专用品牌电脑一台，内存不低于2G,硬盘不低于300G

有自动聚焦，自动消像散，图像拼接功能

18、能谱仪

探头类型：电制冷硅漂移(SDD）探测器，FET和SDD芯片一体化，无需其他辅助制冷，无震动

在中国有TEM电制冷能谱用户且连续正常工作三年以上

能够对元素进行点、线、面成份的定性和定量分析

分辨率:MnKa保证优于127eV(?100,000cps时测量）,峰背比优于20,000:1

探测器自动伸缩设计，避免高能杂散信号的攻击，保护能谱探测器

系统稳定性：100，000cps以内输入计数谱峰偏移不超过1eV

探测芯片有效探测面积:?30mm