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SMT设备数据采集SEMI通讯指令介绍
?录
SECS/GEM总框架介绍(2)
SECS-II消.息分类及功能(4)
SML语?(5)
HSMS介绍(7)
HSMS报?格式(8)
HSMS的状态(14)
HSMS的通信流程以及超时处理(15)
GEM标准模型介绍(18)
GEM通信状态模型(19)
GEM定义的?产设备能?(23)
状态参数收集(24)
事件报告收集(24)
报警管理(29)
远程控制(32)
指令集(33)
建?连接(33)
获取?产设备的状态参数(33)
报警信息(33)
在线模式(34)
离线模式(34)
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SECS/GEM总框架介绍
SEMI通信标准模型SECS/GEM定义了半导体?产设备与主机之间、各?产设备
之间的通信规范。其中SECS-I与HSMS处于模型的最底层,提供了半导体?设备通信的链路层规范,SECS-I协议是基于R232串?链路,HSMS是基于TCP/IP(261:SECS-II定义了半导体?产设备与主机之间消息的通信格式、规范与内容;GEM则定义了半导体?产制造过程中的通?情景下的交互?为整个标准型如图2-1所?,这些标准为别定义在E4、E5、E30、E37的SEMI
标准编号中
SECS-I基于串?链路的半导体?产设备点对点通信标准,定义了包括物理连接,传输包格式,传输速率等物理层和数据链路层特性。
SECS-II,定义了半导体?产设备通信会话与消息的数据格式以及通信内容。
其中通信内容包括设备状态、设备控制、物料状态、物料控制、过程处理、配?管理、报警事件处理等。
GEM,定义了?户应?层的通?设备模型,该模型基于SECS-II消息,它定义了?套通?的半导体?产设备?为、交互机制和典型的应?情景。
HSMS,定义了基于以太?TCP/IP协议的半导体?产设备通信标准,与SECS-I?样处于协议最底层,其作?是替代E4标准,其主要?于?速链路的数据通信需求。
习所?:
每层协议所实现的功能如下图2
3/34
SECS-II消·息分类及功能
SECS-II定义了传输消息的报?格式和表?内容,叫做StreamFunction报?格式。所有的消息都?SxFy表?,其中x为Stream数字值,y为Function数字值。SECS-II协议中以Stream来区分不同信息的种类,再以Function来区分同?种信息下的不同活动的含义。
下表2-1列出了SECS-II的信息分类以及活动,关于所有定义的Stream以及Function详情,请见SEMIE5标准。表2-1部分消息分类以及活动定义
由上表定义可以看出stream所定义的消息分类,例如:
Stream1定义的是?产设备相关的状态参数;
Stream2定义了对?产设备的控制与诊断,远程控制及报告的定义:
Stream5定义了?产设备报警的相关内容;
Stream6定义了数据的收集,包括?产设备产?任何事件时所发送的报告信息;
Stream7定义了?产设备程序的管理;
Stream9则定义了错误信息处理。
Function则定义的是某?种Stream中的活动,例如:1)S1F3是主机要求获取?产设备的状态参数;
S1F4则是由?产设备把状态参数返回给主机;
S1F17是主机要求?产设备ONLINE;
S1F18则是返回ONLINE的结果。
SECS-II的消息SxFy报?通常成对出现,分别称为PrimaryMessage和SecondaryMessage,其中PrimaryMessage的Function为奇数,为发送端发出的消息,SecondaryMessage的Function为偶数,是作为PrimaryMessage的返回消息进?发送。secondaryMessage的Stream与PrimaryMessage的Stream相同,?Function为PrimaryMessage的Function数值加1。
SML语?
SML(SECSMessageLanguage)是?种描述SECS消息以及数据结构的符号性语?,最早由GW联合公司开发。它?常类似与SECS-II标准?档中的符号描述,对于SECS-II标准消息及数据的描述,它具有更准确、通?易懂的优势。SML语?最早在E3.0298标准中使?,?前?经在半导体?业中?量使?。
SML语?的格式如下所?:SxFyWitems
其中S代表stream,F代表Function,后?的x、y表??体的Stream以及Function的类别,例如S1F1,表?Stream1以及Function1。W表??条SECS消息是否需要对?送回来的返回结果,如果需要返回结果,则设置
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