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MXC-3、MXC-3B共有串口通信协议
上海膜林科技有限公司
增加前言和PID部分说明,2021.03.21
更改MXC-3,H命令响应,2021.01.05
新增S17,S18命令,2020.05.06
新增最小功率设定和查询命令,2020.01.10
新增部分查询命令,2018.06.24
前言
MXC-3晶控仪通过正确配置,可以自动完成多层膜的镀制过程。同时,作为一个控制
终端,也可通过串口响应上位机(计算机)命令,协助上位机完成更灵活的多层膜镀制。
计算机通过串
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