薄膜物理与技术要点总结.docx

第一章

最可几速率:依据麦克斯韦速率分布规律，可以从理论上推得分子速率在％处有极大值，f称为最可几速率严％=严％=1.4屮%,Vm速度分布

平均速度：严%厂样%厂1 59阿产分子运动平均距离

均方根速度尸=杆%…网刀平均动能真空的划分；粗真空、低真空、髙真空、超高真空。真空计：利用低压强气体的热传导和压强有关；〔热偶真空计〕

利用气体分子电离：〔电离真空计〕

〔

真空泵：机械泵、集中泵、分子泵、罗茨泵机械泵：利用机械力压缩和排解气体

集中泵：利用被抽气体向蒸气流集中的想象来实现排气作用

分子泵：前级泵利用动量传输把排气口的气体分子带走获得真空。

平均自由程：每个分子在连续