半导体前道量检测设备行业报告（二） ：先进制程关键设备，电子束检测正崛起.pdfVIP

证券研究报告

专用设备

2024年06月25日

半导体前道量检测设备行业报告（二）：

先进制程关键设备，电子束检测正崛起

评级：推荐(维持)

姚健(证券分析师)杜先康(证券分析师)

S0350522030001S0350523080003

yaoj@duxk01@

最近一年走势相关报告

《半导体前道量检测设备行业报告：重点产品持续突破，国产替代正在加速

6%专用设备沪深300（推荐）*专用设备*杜先康，姚健》——2024-01-19

-1%

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-16%

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-31%

2023/06/262023/09/242023/12/232024/03/222024/06/20

沪深300表现

表现1M3M12M

专用设备-9.3%-12.6%-18.9%

沪深300-3.5%-1.9%-10.0%

重点关注公司及盈利预测

2024/06/24EPSPE

重点公司代码股票名称投资评级

股价20232024E2025E20232024E2025E

300567.SZ精测电子57.470.541.001.45106.4357.4739.63买入

688012.SH中微公司147.512.883.304.2151.2244.7035.04未评级

688361.SH中科飞测52.950.440.630.95120.3484.0555.74未评级

—东方晶源————————

资料来源：iFinD资讯，国海证券研究所未评级公司盈利预测取自iFinD一致预期

请务必阅读报告附注中的风险提示和免责声明3

核心提要

u电子束检测是先进制程关键设备

Ø随着集成电路工艺节点减小，缺陷尺寸减小、缺陷密度增加、漏检风险逐渐提升，受益加速电压下的波长优势，电子束检测

技术精度较高，且对于电性缺陷具有独特的识别能力。先进制程及其配套产业链或将成为大基金三期的重点发力方向，半导

体前道量检测设备目前国产化率仅个位数，电子束检测设备是先进制程芯片良率的关键保障，未来有望加速发展。

u国内电子束检测设备市场有望快速发展

Ø我们测算，2024/2025年全球半导体量检测设备市场空间分别为159/196亿美