《电子束物理气相沉积用8YSZ陶瓷靶材 技术条件》（TCSEA 26-2023）.pdfVIP

ICS

CCS

CSEA

中国表面工程协会团体标准

T/CSEA26—2023

电子束物理气相沉积用8YSZ陶瓷靶材技

术条件

Technicalspecificationof8YSZtargetforElectronBeamPhysicalVaporDeposition

（报批稿）

在提交反馈意见时，请将您知道的相关专利连同支持性文件一并附上。

2023-2-7发布2023-3-1实施

中国表面工程协会发布

T/CSEA26—2023

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

本文件由中国表面工程协会热喷涂分会提出。

本文件由中国表面工程协会归口。

本文件起草单位：北京金轮坤天特种机械有限公司、中国航发沈阳黎明航空发动机有限责任公司、

北京航空航天大学。

本标准主要起草人：何箐、邹晗、王世兴、王璐、彭徽。

I

T/CSEA26—2023

电子束物理气相沉积用8YSZ陶瓷靶材技术条件

1范围

本文件规定了采用化学共沉淀法、电熔法合成的高纯氧化钇部分稳定氧化锆（ZrO(HfO)-7~8

22

wt.%YO）原材料所制备的陶瓷靶材的技术要求、质量保证，标志、包装、运输和贮存等。

23

本文件适用于电子束物理气相沉积用8YSZ陶瓷靶材。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T4984含锆耐火材料化学分析方法

GB/T13747.16锆及锆合金化学分析方法第16部分：氯量的测定氯化银浊度法和离子选择性电极

法

GB/T20123钢铁总碳硫含量的测定高频感应炉燃烧后红外吸收法（常规方法）

GB/T21649.1粒度分析图像分析法第1部分：静态图像分析法

YB/T5320金属材料定量相分析X射线衍射K值法

YS/T568.1氧化锆、氧化铪化学分析方法氧化锆和氧化铪合量的测定苦杏仁酸重量法

YS/T568.2氧化锆、氧化铪化学分析方法铁量的测定磺基水杨酸分光光度法

YS/T568.3氧化锆、氧化铪化学分析方法硅量的测定硅钼蓝分光光度法

YS/T568.4氧化锆、氧化铪化学分析方法铝量的测定铬天青S-氯化十四烷基吡啶分光光度法

YS/T568.6氧化锆、氧化铪化学分析方法钛量的测定二安替吡啉甲烷分光光度法

YS/T568.8氧化锆、氧化铪化学分析方法氧化锆中铝、钙、镁、锰、钠、镍、铁、钛、锌、钼、

钒、铪量的测定电感耦合等离子体发射光谱法

3术语和定义

本文件没有需要界定的术语和定义。

4技术要求

化学成分

8YSZ陶瓷靶材成分及杂质含量应符合表1的规定。