YST 1683-2024《磁记录用铬钛合金溅射靶材》.docx

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ICSCCS

77.150.50H64

YS

中华人民共和国有色金属行业标准YS/TXXXX—XXXX

磁记录用铬钛合金溅射靶材

Chromiumtitaniumsputteringalloytargetusedinmagneticrecording

（报批稿）

××××-××-××发布××××-××-××实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

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I

YS/TXXXXX-XXXX

前言

本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）提出并归口。

本文件起草单位：宁波江丰电子材料股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、宁波热等静压技术有限公司。

本文件主要起草人：姚力军、吴东青、廖培君、杨慧珍、王学泽、刘晓、周友平、曹欢欢、边逸军、宋琦、汤婷、袁海军、干科军、许兴、黄引驰、陈玉蓉、时晓旭。

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YS/TXXXX-XXXX

磁记录用铬钛合金溅射靶材

1范围

本文件规定了磁记录用铬钛合金溅射靶材的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单内容。

本文件适用于垂直磁记录硬盘、磁盘用铬钛合金靶材。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T1031产品几何技术规范（GPS)表面结构轮廓法表面粗糙度参数及其数值

GB/T3850致密烧结金属材料与硬质合金密度测定方法

GB/T4698.7海绵钛、钛及钛合金化学分析方法氧量、氮量的测定GB/T4698.14海绵钛、钛及钛合金化学分析方法碳量的测定

GB/T4702.6—2016金属铬铁、铝、硅和铜含量的测定电感耦合等离子体原子发射光谱法

GB/T6394金属平均晶粒度测定方法

GB/T8651金属板材超声板波探伤方法

GB/T25915.1—2021洁净室及相关受控环境第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级YS/T891高纯钛化学分析方法痕量杂质元素的测定辉光放电质谱法

3术语和定义

本文件没有需要界定的术语和定义。

4技术要求

4.1化学成分

产品的化学成分应符合表1的规定。

表1化学成分

%

牌号

Cr90Ti10

Cr80Ti20

Cr55Ti45

Cr50Ti50

Cr40Ti60

Cr含量(质量分数）

89.78～91.66

80.34～82.24

56.05～58.03

51.07～53.07

40.99～43.02

Ti含量(质量分数）

8.34～10.22

17.76～19.66

41.97～43.95

46.93～48.93

56.98～59.01

Cr+Ti含量(质量分数）不小于

99.9

杂质元素含量

(质量分数）×10

不大于

C

150

N

100

150

O

1000

1900

2400

3000

S

40

Ni

100

Fe

500

Si

100

Al

70

Na

50

W

100

Ca

30

Zr

80

V

100

Cr含量为Cr+Ti含量减去Ti含量的余量。

Cr+Ti含量为100%减去杂质元素含量（C、N、O、S除外）实测总和的余量。

2

YS/TXXXX-XXXX4.2晶粒尺寸

产品的晶粒尺寸平均值不大于45μm，最大值不大于120μm。4.3相对密度

产品的相对密度应不小于98%。4.4内部质量

产品内部夹杂和气孔等缺陷面积应不大于总溅射面积的0.02%。需方如有特殊要求时，由供需双方协商确定，并在订货单中注明。

4.5外形尺寸

产品通常为圆形，尺寸规格及结构方式一般由需方提供图纸，经双方确认后，方可生产。产品溅射

面的平面度应小于0.1mm。4.6表面粗糙度

产品表面粗糙度应符合图纸要求，图纸无要求时Ra值应小于1.6μm。

4.7外观质量

产品表面应清洁光滑，无指痕、油污和锈蚀，无颗粒附加物和其他沾污，无凹坑、划伤、裂纹、凸起等缺陷。

5试验方法

5.1Ti含量的测定按照附录A的规定进行或由供需双方协商确定；C含量的测定按照GB/T4698.14的规定进行；O和N含量的测定按照GB/T4698.7的规定进行；S含量和