YBT 6166-2024《石墨烯薄膜 方块电阻的测定 四探针法》.pdf

ICS77.040.20

CCSQ53

YB

中华人民共和国黑色冶金行业标准

YB/TXXXXX—XXXX

石墨烯薄膜方块电阻的测定四探针法

Graphenefilm--Testingmethodsforsquareresistance--Fourprobemethod

【报批稿】

XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

YB/TXXXX—202X

前  言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》给出的

规则起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由中国钢铁工业协会提出。

本文件由全国钢标准化技术委员会（SAC/TC183）归口。

本文件起草单位：江苏省特种设备安全监督检验研究院（国家石墨烯产品质量检验检测中心（江

苏））、冶金工业信息标准研究院、青岛华高墨烯科技股份有限公司、苏州晶格电子有限公司、南京大

学。

本文件主要起草人：杨永强、区炳显、李倩、郭洪云、丁海龙、于葛亮、王勤生、田子健、张萧丹、

王群、张维旭。

I

YB/TXXXX—2023

石墨烯薄膜方块电阻的测定四探针法

1范围

本文件规定了石墨烯薄膜的方块电阻测定方法，包括方法原理、仪器设备、测试条件、测试步骤、

结果计算与数据采集和测试报告等。

本文件适用于目视平整、附着在衬底表面的石墨烯薄膜方块电阻的测定，石墨烯薄膜的长和宽均不

-33

小于50mm。方块电阻的测量范围为1×10Ω~1×10Ω。本文件也可适用于更高或更低方块电阻的

测量，但其测量精确度尚未评估。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文

件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适

用于本文件。

GB/T1551硅单晶电阻率测定直排四探针法和直流两探针

GB/T30544.13—2018纳米科技术语第13部分：石墨烯及相关二维材料

3术语和定义

GB/T30544.13—2018中界定的及下列术语和定义适用于本文件。

3.1

方块电阻squareresistance

与电流平行的电势梯度对电流密度和厚度乘积的比，也称薄层电阻。

3.2

石墨烯薄膜graphenefilm

由石墨烯相关二维材料附着在衬底上构成的薄而平的制品。

4方法原理

使用直排四探针测量装置（见图1），使直流电流通过试样上两外探针，测量两内探针之间的电位

差，引入与试样几何形状有关的修正因子，计算出方块电阻。

2

YB/TXXXX—2023

图1直排四探针法测试方块电阻的示意图

5仪器设备

5.1仪器组成

四探针方块电阻测试仪由主机、样品台、探头、数据采集与处理系统等部分