用于散射仪的双光束设置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利说明书

(10)申请公布号CN101243313A

(43)申请公布日2008.08.13

(21)申请号CN200680029684.1

(22)申请日2006.08.04

(71)申请人皇家飞利浦电子股份有限公司

地址荷兰艾恩德霍芬

(72)发明人S·瓦德曼

(74)专利代理机构永新专利商标代理有限公司

代理人王英

(51)Int.CI

G01N21/27

G01N21/47

G01B11/30

G01N21/57

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

用于散射仪的双光束设置

(57)摘要

提供了一种具有双光束设置的散射

仪或二次散射仪和使用其的方法，以产生

光学参数测量值。双光束二次散射仪包括

在底部由基底(320)密封的半球形穹面外壳

(318)。辐射源(302)分成两个光束产生辐

射：用于照明样本表面(308)的照明光束

(304)和用于提供与照明光束(304)有关的光

学特征信息的校准光束(330)。经由分立的

光路将每个光束引导到半球形穹面外壳

(318)之内。定位光学成像装置(324)以获取

由被照明光束(304)照明的样本表面(308)散

射的散射辐射(314)的图像，并同时获取校

准光束的图像。在分析散射辐射数据时，

利用校准光束图像补偿辐射源(302)的光输

出的变化。

法律状态

法律状态公告日法律状态信息法律状态

权利要求说明书

1、一种用于表征样本表面308的光学外观的设备300，所述设备300包括：

上部外壳318，其具有顶表面上中心位置处的第一孔隙310、形成于从所述第一孔

隙310偏移的位置处的第二孔隙326以及形成于所述上部外壳318的底部位置处并

垂直于所述第一孔隙310的第三孔隙332，所述上部外壳318具有被配置成投影屏

316的内表面；

被配置并定位成支撑所述上部外壳318的基底320，所述基底320和所述上部外壳

318形成封闭体积312，并且所述基底320具有与所述第一孔隙310相对定位的开

口322，使得当靠着所述基底320的外表面定位所述样本表面308时，通过所述第

一孔隙310和所述开口322可以看见所述样本表面308的至少一部分；

辅助反射镜328，其设置在所述基底320的内表面上，并与所述第二孔隙326和所

述第三孔隙332光学相通；

位于所述封闭体积312之外的辐射源302；

由所述辐射源302产生的第一辐射束304，所述第一辐射束304被沿着第一光路引

导，所述第一光路始于所述辐射源302，经过所述第一孔隙310、所述开口322并

以一入射角终止于所述样本表面308；

光学成像装置324，位于所述封闭体积312之外，并与所述第二孔隙326和所述辅

助反射镜328光学相通；以及

由所述辐射源302在发射所述第一辐射束304的同时发射的第二辐射束330，所述

第二辐射束330被沿着第二光路引导，所述第二光路始于所述辐射源302，通过所

述第三孔隙332进入所述封闭体积312，通过所述第二孔隙326重新定向并终止于

所述光学成像装置324。

2、根据权利要求1所述的设备300，其中，所述第一辐射束304和所述第二辐射

束330源自由所述辐射源702产生的初始辐射束704，所述初始辐射束704被引导

向分束器710，以将所述初始辐射束704分成所述第一辐射束304和所述第二辐射

束330。

3、根据权利要求1所述的设备300，其中，所述第一光路和所述第二光路的一个

或多个部分经过光纤细丝502。

4、根据权利要求1所述的设备300，其中，将所述上部外壳318的尺寸