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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利说明书
(10)申请公布号CN101465311A
(43)申请公布日2009.06.24
(21)申请号CN200710179912.X
(22)申请日2007.12.19
(71)申请人北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
地址100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5楼南二层
(72)发明人李永军
(74)专利代理机构北京天昊联合知识产权代理有限公司
代理人张天舒
(51)Int.CI
H01L21/68
H01L21/66
权利要求说明书说明书幅图
(54)发明名称
基片偏移的诊断及校正方法和诊断
及校正装置
(57)摘要
本发明公开了一种基片偏移的诊断
及校正方法,其包括以下步骤:10)诊断步
骤:基于第一传感器的检测结果判断传送
部件所携带的基片是否发生偏移,若无偏
移,则不进行下述校正步骤;若有偏移,
则转入下述校正步骤;20)校正步骤:调整
所述基片的位置,使其消除偏移而回归基
准位置。此外,本发明还提供了一种基片
偏移的诊断及校正装置,包括诊断单元和
校正单元,其中诊断单元用于判断传送部
件所携带的基片是否发生偏移,若有偏
移,则触发校正单元工作;若无偏移,则
不进行任何操作;校正单元用于调整所述
基片的位置,以使其消除偏移而回归基准
位置。本发明提供的方法和装置简单易
行,能使基片准确传送,且传送精度高、
可靠性好。
法律状态
法律状态公告日法律状态信息法律状态
权利要求说明书
1.一种基片偏移的诊断及校正方法,其特征在于包括以下步骤:
10)诊断步骤:基于第一传感器的检测结果判断传送部件所携带的基片是否发生偏
移,如果无偏移,则不进行下述校正步骤而直接结束本方法;如果有偏移,则转入
下述校正步骤;
20)校正步骤:调整所述基片的位置,使其消除偏移而回归基准位置。
2.根据权利要求1所述的基片偏移的诊断及校正方法,其特征在于,所述第一传感
器为包括光发射装置和光接收装置的光电传感器,其设置于第一检测点的切线位置
处,所述第一检测点为基片位于基准位置时基片的最外侧点,所述切线与所述传送
部件的运动方向相平行。
3.根据权利要求2所述的基片偏移的诊断及校正方法,其特征在于,所述诊断步骤
具体包括下述步骤:
11)在传送部件携带基片运动的过程中,第一传感器中的光发射装置向光接收装置
发射光束,所述光接收装置实时接收所述光束,并输出相应的电信号;
12)根据来自第一传感器的光接收装置的电信号,判断所述光束是否被打断过,若
光束被打断过且打断时间小于设定值,则判定基片未偏离所述基准位置;若光束未
曾被打断过、或者光束被打断过且打断时间超过设定值,则判定基片偏离所述基准
位置。
4.根据权利要求3所述的基片偏移的诊断及校正方法,其特征在于,所述设定值为
30微秒。
Claim5.根据权利要求1至4中任意一项所述的基片偏移的诊断及校正方法,其
特征在于,所述校正步骤具体包括下述步骤:
21)根据设置在传输路径上的传感器的检测结果,获得所述传送部件携带基片运动
的距离;
22)根据所述运动距离以及基片的尺寸来计算基片中心的实际坐标;
23)根据基片中心的实际坐标和基准坐标,计算基片实际位置相对于其基准位置的
偏移量;
24)根据所述偏移量来调整所述基片的位置,使其回归基准位置。
6.根据权利要求5所述的基片偏移的诊断及校正方法,其特征在于,所述传感器包
括第二传感器和/或第三传感器,所述第二传感器和第三传感器均为包括光发射装
置和光接收装置的光电传感器,每一个所述光电传感器的光发射装置和光接收装置
对应地设置在基片的上方和下方。
7.根据权利要求6所述的基片偏移的诊断及校正方法,其特征在于,所述步骤21)
具体包括下述步骤:
211)在传送部件携带基片运动的过程中,第二传感
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