基片偏移的诊断及校正方法和诊断及校正装置.pdfVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利说明书

(10)申请公布号CN101465311A

(43)申请公布日2009.06.24

(21)申请号CN200710179912.X

(22)申请日2007.12.19

(71)申请人北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司

地址100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5楼南二层

(72)发明人李永军

(74)专利代理机构北京天昊联合知识产权代理有限公司

代理人张天舒

(51)Int.CI

H01L21/68

H01L21/66

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

基片偏移的诊断及校正方法和诊断

及校正装置

(57)摘要

本发明公开了一种基片偏移的诊断

及校正方法，其包括以下步骤：10)诊断步

骤：基于第一传感器的检测结果判断传送

部件所携带的基片是否发生偏移，若无偏

移，则不进行下述校正步骤；若有偏移，

则转入下述校正步骤；20)校正步骤：调整

所述基片的位置，使其消除偏移而回归基

准位置。此外，本发明还提供了一种基片

偏移的诊断及校正装置，包括诊断单元和

校正单元，其中诊断单元用于判断传送部

件所携带的基片是否发生偏移，若有偏

移，则触发校正单元工作；若无偏移，则

不进行任何操作；校正单元用于调整所述

基片的位置，以使其消除偏移而回归基准

位置。本发明提供的方法和装置简单易

行，能使基片准确传送，且传送精度高、

可靠性好。

法律状态

法律状态公告日法律状态信息法律状态

权利要求说明书

1.一种基片偏移的诊断及校正方法，其特征在于包括以下步骤：

10)诊断步骤：基于第一传感器的检测结果判断传送部件所携带的基片是否发生偏

移，如果无偏移，则不进行下述校正步骤而直接结束本方法；如果有偏移，则转入

下述校正步骤；

20)校正步骤：调整所述基片的位置，使其消除偏移而回归基准位置。

2.根据权利要求1所述的基片偏移的诊断及校正方法，其特征在于，所述第一传感

器为包括光发射装置和光接收装置的光电传感器，其设置于第一检测点的切线位置

处，所述第一检测点为基片位于基准位置时基片的最外侧点，所述切线与所述传送

部件的运动方向相平行。

3.根据权利要求2所述的基片偏移的诊断及校正方法，其特征在于，所述诊断步骤

具体包括下述步骤：

11)在传送部件携带基片运动的过程中，第一传感器中的光发射装置向光接收装置

发射光束，所述光接收装置实时接收所述光束，并输出相应的电信号；

12)根据来自第一传感器的光接收装置的电信号，判断所述光束是否被打断过，若

光束被打断过且打断时间小于设定值，则判定基片未偏离所述基准位置；若光束未

曾被打断过、或者光束被打断过且打断时间超过设定值，则判定基片偏离所述基准

位置。

4.根据权利要求3所述的基片偏移的诊断及校正方法，其特征在于，所述设定值为

30微秒。

Claim5.根据权利要求1至4中任意一项所述的基片偏移的诊断及校正方法，其

特征在于，所述校正步骤具体包括下述步骤：

21)根据设置在传输路径上的传感器的检测结果，获得所述传送部件携带基片运动

的距离；

22)根据所述运动距离以及基片的尺寸来计算基片中心的实际坐标；

23)根据基片中心的实际坐标和基准坐标，计算基片实际位置相对于其基准位置的

偏移量；

24)根据所述偏移量来调整所述基片的位置，使其回归基准位置。

6.根据权利要求5所述的基片偏移的诊断及校正方法，其特征在于，所述传感器包

括第二传感器和/或第三传感器，所述第二传感器和第三传感器均为包括光发射装

置和光接收装置的光电传感器，每一个所述光电传感器的光发射装置和光接收装置

对应地设置在基片的上方和下方。

7.根据权利要求6所述的基片偏移的诊断及校正方法，其特征在于，所述步骤21)

具体包括下述步骤：

211)在传送部件携带基片运动的过程中，第二传感