（高清版）BT 40333-2021 真空计 四极质谱仪的定义与规范.pdfVIP

ICS23.160

J78

中华人民共和国国家标准

GB/T40333—2021/ISO14291:2012

真空计四极质谱仪的定义与规范

Vacuumgauges—Definitionsandspecificationsforquadrupole

massspectrometers

(ISO14291:2012,IDT)

2021-05-21发布2021-12-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T40333—2021/ISO14291:2012

目次

前言Ⅲ

引言IV

1范围1

2术语和定义1

2.1部组件1

2.2物理参数4

3符号和缩略语8

4四极质谱仪的原理8

5制造商提供的四极质谱仪说明书9

5.1质量范围9

5.2离子源类型9

5.3离子检测器类型9

5.4质量分辨率9

5.5质量数稳定性9

5.6灵敏度9

5.7线性响应范围9

5.8最小可检分压力9

5.9最小可检浓度9

5.10最大工作压力10

5.11扫描参数10

5.12信号输出10

5.13电位10

5.14检测器技术规范10

5.15设定值10

5.16最高烘烤温度10

5.17标称工作环境10

5.18预热时间10

5.19灯丝材料10

5.20电子放射电流10

5.21更换灯丝11

5.22更换检测器11

5.23腔室接口11

5.24安装方向11

I

GB/T40333—2021/ISO14291:2012

5.25尺寸11

5.26内部容积11

5.27传感器头和电控单元的质量11

5.28电控单元的输入电源11

5.29电缆11

5.30软件11

5.31接口关系11

5.32贮存和运输条件11

6制造商另给出的四极质谱仪的说明12

6.1质量分辨率12

6.2图形系数12

6.3灵敏度的温度系数12

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