TSV硅通孔技术的研究分解.docx

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西安电子科技大学

硕士研究生课程考试试卷

集成电路封装与测试

硅通孔〔TSV〕工艺技术

1511122657 班级 111504

马会会

师 包军林

评卷人

签名

注意事项

1.考试舞弊者做勒令退学或开除学籍

1.考试舞弊者做勒令退学或开除学籍

2.用铅笔答题一律无效〔作图除外〕

3.试题随试卷一起交回

硅通孔TSV工艺技术

1511122657马会会

摘要:本文主要介绍近几年封装技术的快速进展及进展趋势。简洁介绍了TSV技术的进展前景及其优势。具体介绍了硅通孔工艺以及其关键技术。并针对

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