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摘要:对各种去胶技术的原理、优缺点及其适用场合进展了综述，并结合本试验室的电铸Ni
构造去
胶试验，对强碱熔盐浴氧化、强酸氧化等经济有效的去胶方法进展了有益进展。最终介绍了
SU-8
关心去胶技术，如关心剥离牺牲层技术、关心电铸构造抵抗去胶剥落的桩基形成技术。提出了一
种与多层互连电路微制造兼容的金属桩基形成技术，并承受强酸氧化去胶方法在制作有互联电路
及薄膜电极的基片上成功地集成了2001}m厚的Ni构造。
关键词:微机电系统;;SU-8;去胶;高深宽比;桩基中图分类号:TN305.7文献标识码:A
SU-8胶是一种负性、环氧树脂型、近紫外线(350nm^-400
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