扩散工序.ppt

4.1.2相关图片ⅰ 插 片 净化工作台 插片时必须穿好洁净工作服。 4.1.2相关图片ⅱ 严禁裸手操作，一定要戴好乳胶手套，且不得用手直接接触硅片和石英舟。 真空吸笔，从载片盒中吸取硅片插到石英舟内。 载片盒 4.1.2相关图片ⅲ 碳化硅桨，易碎。安装、拆卸时切勿碰撞！ 上 桨 移动、放置石英舟时，一定要小心轻放！ 触摸屏 4.2 换源作业 1. 换源前先确认工艺已停止运转，确定可以换源，戴好防毒面具、乳胶手套、和防酸服等，切断气源（小N2），先关进气阀，后关出气阀，阀门拧紧即可，将源瓶从源瓶座中取出，注意要用二只手拿，力度要轻，应避免碰撞，拧松阀门将软管拔下，将换下来的源瓶放至周转盒并送至抽风橱中。 2. 检查待换源瓶有无裂纹、旋钮松脱、残液等缺陷，如有问题要标识并隔离，并通知相关人员处理。用周转盒将源瓶运到作业区。接气路软管，软管要插到位，接好后要轻拉软管。接好软管后先开出气阀，再开进气阀，出气阀一定要拧到位，保证气流畅通，开阀门时要左手稳住阀，不可一手扶瓶身一手拧阀，以免会把阀门拧断。 3. 换好后先通小流量N2试验（第二个人手动打开小N2），确认源瓶中有气泡出，管路接口无异常，且无回流或倒流现象则OK，把源瓶放入源瓶座中，确认恒温箱温度，关好源柜门，收好防毒面具、防酸服等，手套扔入指定场所，作好换源记录。 4.3 石英管的拆卸、清洗和安装 石英管的清洗每月一次，一般在设备维护时清洗，石英管清 洗涉及到以下作业： -石英管的拆卸 -清洗液的配制 -石英管的清洗 -石英管的安装 5. 扩散工序检测 外观检验 方块电阻检验 -检验标准 -检验原理 -检验仪器 -标准作业 少子寿命检测 洁净度检测 5.1 外观检测ⅰ 扩散前检测： 硅片绒面有无色斑，雨点，硅片是否甩干，有没碎片，裂纹片，对照流程卡检查有无少片现象。 扩散后检测： 绒面不良，花斑，黑点，偏磷酸污染，裂纹，崩边，V型缺口 5.1 外观检测ⅱ 5.2.1 检验标准 为什么把方块电阻做为检验标准？ 同一炉扩散方块电阻不均匀度≤10%，同一硅片扩散方块电阻不均匀度≤5%。 不均匀度=(R□max-Rmin)\ (R□max+Rmin) ×100% Rs=[q∫μ(C) ×Ce(z)] dz ] 5.2.2 检验原理ⅰ 方块电阻：扩散层的薄层电阻也称方块电阻，常用Rs或R口表示。所谓薄层电阻，就是表面为正方形的半导体薄层在电流方向上所呈现的电阻。 金属导体的电阻公式 R=ρl /s，与之类似， 薄层电阻的大小为： Rs=ρl / at，如右图： 当l=a即为一个方块时：　 Rs=ρ/t 5.2.2 检验原理ⅱ V R=F×V/I 四探针可以排成不同的几何形状，最常见的是排成一条直线。 探针间距远大于结深时，几何修正因子为4.5325。 I 四探针法原理 5.2.3 检测仪器 名称：四探针测试仪 结构：主机、测试台、 四探针探头。 探针属于易耗品，使用中有需要注意的地方。 5.2.4 测方块电阻作业ⅰ 1. 调整测试电流： 使“R□”、“I”、“EXCH. 1”显示灯亮，将电流档位0.1mA调至10mA，将待测量的硅片取出放在测试台上（扩散面向上），按下降按钮，使针头平压在硅片上（四针平齐），校准电流，调整电流值为4.530mA。（根据硅片尺寸规格进行调整）。 2. 测量方块电阻： 将“I”的指示灯切换至R□/ρ档，读取稳定值，并记录在电池生产记录中， 重复以上步骤（注意炉里、炉中、炉口加以区分）。 3.判断是否返工 根据规定的工艺要求判断是否要返工，并及时调节扩散的温度。将测试完的硅片卸到承载盒中，测量过程完毕。 5.2.4 测方块电阻作业ⅱ 测 量 四探针测试台 扩散面朝上 四探针主机 5.3 少子寿命检测 少子寿命的定义 为什么要检测少子寿命 测量方法简介(瞬态法和稳态法) t ?V ?V0 ?V0/e 0 ? 5.4 洁净度检测 为什么要有洁净度要求？ 定期检测，超标则停业整顿 洁净度标准及定义 洁净室等级 洁净度 人员的影响 使周围尘埃增加倍数 粒径（微米） 浓度（粒/立方英尺） 搅动衣服袖 1.5-3 1级 ≥0.5 ≤1 喷嚏 5-20 10级 ≥0.5 ≤10 摩擦手或皮肤 0-2 100级 ≥0.5 ≤100 三人聚集 1