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2017-09-28 发布于江苏
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利用Matlab计算介质膜反射光谱.pdf

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第27卷第10期计算机应用与软件 V01．27No．10 2010年10月 andSoftware Oct．2010 ComputerApplications 利用Matlab计算介质膜反射光谱周成刚 (上海科学院集成电路制造装备研究中心上海201203) 摘要 Matlab在计算介质膜反射光谱中的应用。并结合光刻涂胶实验，利用光纤光谱仪获得实际反射光谱，对该方法进行了验证，实验表明，该方法可以准确计算介质膜的反射光谱，并可通过反射光谱求得膜厚值，简便、可靠、具有实用性。关键词 Matlab优化计算反射光谱菲涅尔公式 CALCULATIONOFFILM REFLECTIONSPECTRAWITHMATLAB Zhou Chenggang Circuit RD and (IntegratedManufacturingEquipmentCenter，Shanghai 201203，China) Academy矿ienceTechnology，Shanghai Abstract FresnelformulabasedonMaxwell and conditionsasthe in Taking equationsboundary originalmodel，applyingoptimization S1813resist ofMatlabincalc山ationoffilmreflectionis fi- Maflab，andusing photo film鹳example。theapplication spec拉a described．Using bet to therealreflection in collect data kindofmethodis resultsindicatethat spectrometer spectra lithography，this attested．Experimental thiskindofmethodis incalculationoffilm accurate reflectionanddeterminationofthicknessfromreflection methodis spectra spectra．The and simple，crediblepracticable． Matlab Reflection Fresnelformula Keywords Optimizationcomputation spectra 波水平及垂直方向振幅，n。，n：分别为界面两侧介质的折射系 0引言数，0。，以分别为入射角和折射角。对于正入射，即统=以=0，式(1)和式(