超纯铜铸锭.docVIP

前 言 超纯铜（纯度大于6N）以其优异的导电性、导热性、良好的加工性能等越来越广泛应用于集成电路、通讯、超导、航天等尖端技术领域。目前，没有针对于纯度为6N超纯铜铸锭的行业标准或国家标准，为确保产品生产、检验和验收的规范及统一，特制定本标准。 本标准由全国有色金属标准化技术委员提出并归口。 本标准起草单位：有研亿金新材料股份有限公司 本标准主要起草人：刘书芹、王欣平张涛、 超纯铜铸锭 范围 本标准规定了超高纯铜铸锭的产品要求、制造条件、试验方法、检验规则、及标识、包装、运输和储存及质量证明书。 本标准适用于制造半导体铜靶材所需的高纯铜铸锭。其他行业所需的铜铸锭也可参照使用。 规范性引用文件 下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条例。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的必威体育精装版版本。凡是不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本适用于本标准。 GB/T 6394-2002 金属平均晶粒度测定方法 YS/T 448-2002 铜及铜合金铸造和加工制品宏观组织检验方法 ASTM F2405-04 用高质量分辨率辉光放电质谱仪对高纯度铜中痕量金属杂质的试验方法 要求 铸锭分类 超纯铜铸锭的类型按照铜的纯度分为IC-Cu99.9999 和大于6N 两种。 超纯铜铸锭形状按直径主要分为 Ф175mm 和Ф205mm两种，如图1所示。 图1 超纯铜铸锭示意图 检测极限值： 检测极限值是指检测分析方法中杂质含量所能达到的最小检出数值。 化学成分要求 超纯铜铸锭的金属和非金属杂质元素含量应符合表1规定 超纯铜铸锭化学成分要求 纯度 IC-Cu 99.9999 Cu含量不小于/ % 99.9999 杂质含量/(×10-6)，不大于； 金属杂质总量/(×10-6)，不大于1ppm Al 0.05 Fe 0.1 Ag 0.3 Ni 0.1 Ti 0.1 Mg 0.2 As 0.02 Na 0.02 Bi 0.02 P 0.02 Cl 0.1 Pb 0.01 Ca 0.02 Si 0.3 Cr 0.02 Sn 0.05 Cd 0.1 Sb 0.1 Ga 0.05 Th 0.0005 K 0.02 U 0.0005 Li 0.02 V 0.05 Mn 0.05 Zn 0.2 S 0.05 非金属元素含量/(×10-6)，不大于 C 1 O 1 N 1 H 1 注1：超纯铜铸锭铜含量为100%减去表1中金属杂质元素实测总和的余量，金属杂质含量总和不超过1ppm；非金属杂质C、N、O、H含量不超过1ppm。 注2：客户对超纯铜铸锭某种特定杂质元素含量有要求的，由供需双方协商确认。 超纯铜铸锭规格 超纯铜铸锭形状由所铸模具规格而定，其外形尺寸及允许公差如表2所示。 表2 超纯铜铸锭外形尺寸 规格尺寸(直径/mm) D 重量 (Kg) 长度 (mm) H2 重量及长度数值为图1中切去铸锭底端（H1）和冒口部（H3）以及去除表皮后的数值 最大值 最小值 最大值 最小值 205 110 90 400 350 175 85 75 430 400 允许偏差 ±10 ±10 ±5 ±5 注：超纯铜铸锭直径和长度根据需方要求提供或可协商更改为其他规格的铜铸锭。 外观质量 铸锭表面为机加工后的表面，铸锭表面应平整、洁净，无裂纹、无毛刺、无夹杂、无孔洞、无污渍、无手印等；应清洁、无油污和锈蚀或其他沾污。 晶粒尺寸 平均晶粒尺寸不大于5mm。 最大晶粒尺寸不大于10mm。 试验方法 化学成分分析方法 超纯铜铸锭的金属杂质元素的检验采用GDMS（Glow Discharge Mass Spectrometry 辉光放电质普分析）分析方法，并按照标准ASTM F2405-04规定进行检验；非金属杂质元素C、N、O、H分析采用LECO方法。 晶粒尺寸 超纯铜铸锭的晶粒尺寸按照标准YS/T 448-2002规定进行检验。表面质量 超纯铜铸锭外观表面质量采用目视检测，如发现异常现象，可用10倍放大镜鉴别。 检验规则 检验项目 按照4.1、4.2和4.3的规定进行检验。 检验方法 超纯铜铸锭化学成分的检测按照每锭必检的原则进行，晶粒尺寸的检验采取每5个铸锭中随机 抽取一个铸锭进行检验。 铸锭晶粒尺寸检验时,分别在距离铸