新版汉虹单晶炉保养与维护1.doc

目 录 我们专业单晶炉维修以及配件更换（QQ1310141090 一． 概述： 2 1.1 主要用途和适用范围： 2 1.2 产品特点： 2 1.3 使用条件； 3 二． 工作原理与结构特征： 4 2.1 工作原理及其总体结构： 4 2.2 主要部件的结构特征： 5 三． 技术特性： 7 3.1 主要性能： 7 四． 尺寸和重量： 8 4.1 外形及安装尺寸： 8 4.2 重量： 8 五． 安装调整： 8 5.1 设备基础，安装的技术要求: 8 5.2 安装程序及注意事项： 9 5.3 安装、调整后的验收试验项目： 9 5.4 试运行前的准备： 10 六．使用和操作： 10 6.1 使用前的准备和检查： 10 6.2 启动及运行过程中的操作程序： 10 6.3 运行中的监测和记录： 13 6.4 停机的操作程序、方法及注意事项： 13 七. 故障分析与排除： 13 八 安全保护装置及事故处理： 14 8.1 安全保护装置及注意事项： 14 8.2 出现故障时的处理程序和方法： 15 九 保养和维护： 15 9.1 日常维护、保养和校准： 15 9.2 检修周期： 18 9.3 正常维修程序： 18 9.4 长期停产时的维护和保养： 19 十． 运输和贮存： 19 10.1 吊装、运输注意事项： 19 10.2 贮存条件贮存期限及注意事项： 19 十一．开箱及检验： 19 11.1 开箱注意事项： 19 11.2 检查内容： 19 十二. 其他： 19 12.1 售后服务事项： 19 12.2 联系方法： 20 12.3 附录一（密封件清单） 21 12.4 附录二（易损件清单） 22 12.5 附录三（随机附件清单） 23 FT-CZ2008单晶炉使用说明书(机械部分) 一． 概述： 1.1 主要用途和适用范围： 单晶炉是生产电子、太阳能及其他高科技行业原材料的重要设备。FT-CZ2008型是通过引进日本技术，针对太阳能电池市场需求而开发的高性能晶体生长炉。该炉采用直拉法生长单晶，提升结构类型为软轴提拉型。在装配有适当热场的情况下，通过加工工艺的变更后也可以生产电路级的高质量单晶。 1.2 产品特点： FT-CZ2008单晶炉融合多种当代新技术，实现了全UPS装置，以保护由于外部停电而造成的电脑和程序损坏。 5）在电器控制系统中，电源装置采用高精度CPU控制板进行独立控制。其中的LC装置可以抗高谐波，功效比高，省电效果显著。 6）所有电机均采用直流伺服编码器反馈，比测速反馈的精度更高。 7）采用高速微处理器，动态检测，高速响应。长寿命设计采用高可靠进口元器，性能稳定可靠。）日本工业规格　(JIS) B）日本电气工业规格　(JEM) C）电气规格调查会标准规格　(JEC) 1籽晶旋转提升机构 2籽晶夹头 3炉体开启升降机构 4上炉体 5隔离阀 6主炉体 7电极 8机架9坩埚驱动机构及架台 10加热器电源 11电器箱 12Ar气管路 13冷却水管路 14真空管路 15操作箱16炉筒升降机构 外形结构示意图 我们专业为大家解决单晶炉维修以及配件更换（QQ1310141090） 1.3 使用条件； 1）使用环境： 本设备应在清洁、减振的工作环境中运行，应放置在专用的混凝土基础上，环境条件应选在恒温、恒湿车间。地面应尽量平整，并且有自然排水管孔，使清理下的泄水能自然排放。 突然的外界较强烈的冲击震动，会影响晶体的内在质量。因此，厂房应尽量选择在避开振源的地方。当条件限制而不能避开时，则要做必要的隔振措施。其具体要求为： A）环境温度：20±5℃； B）相对湿度：≤65%，杜绝腐蚀性气体； C）外界振源当大于10Hz时，振幅值应小于0.003mm； 2）电源： 电压：三相交流电、380V±5%、 50HZ 功率： 200KVA／台 配电盘应装有三相380V、500A的空气开关，及380V、500A的隔离开关。 设备周围如有高频电源干扰时，应予以隔离。 3）冷却水源与排水： 本设备的冷却水与水源连接有一个进水口和一个排水口，管径都为3″，连接法兰：外径Φ180mm，固定孔4-Φ20mm的节圆直径为Φ140mm。在水管与主机相连时，应以软管过渡连接，以防止因外界振动的传入干扰机器的正常生产。进入的冷却水由分水排通过软管与设备各个冷却部位相通，回水为有压排放。各主要冷却部位均设有水温开关，随时检测冷却水温，当水温超过500时，发出警报信号，提醒操作者处理。冷却水的水质应以纯水循环供应为好。 冷却水源的具体要求为： 酸碱度 PH=6.0～8.0 硬度（CaCO3）＜150 PPM