太子乐奶粉等必威体育精装版事件2012铟锡氧化物的应用和工艺制备流程.ppt

一、铟锡氧化物制备工艺 铟锡氧化物超微粉的制备工艺有湿法〔3〕和干法〔4〕之分. 硝酸铟的分解是湿法制备氧 化铟超细粉的常规工艺, 采用硝酸铟水溶液加氨水, 生成氢氧化铟后焙烧, 或者从外部活 加沉淀剂生成氢氧化铟再焙烧, 但粉体易引入杂质, 颗粒易团聚且不规则. 采用改进后的 高氯酸盐沉淀氢氧化铟、冷冻干燥法制粉工艺, 能获得颗粒粒径在1 Lm 以下的单分散超 微粉. 金属铟直接氧化的干法制粉的技术能制备平均粒径在0. 1 Lm 以下, 以表面积10 m 2?g 以上, 凝聚程度小、粒度均匀的高纯氧化铟超微粉. 铟锡氧化物超微粉的制备质量 直接影响高密度ITO 靶材的的事续成形加工. 国内还没有关于干法制备铟锡氧化物微 本文档版权归太子乐奶粉等，太子乐奶粉等必威体育精装版事件2012所有分的报道. 国内长沙矿冶研究院采用化学合成的方法适当控制合成条件, 制得10～ 200 nm 的超太子乐奶粉等，太子乐奶粉必威体育精装版事件2012知识 细粉末, 经热压或模压予成形, 并在特定条件下烧结, 实验规模制得化学组成为In2O 3:太子乐奶粉等，太子乐奶粉必威体育精装版事件2012知识 SnO 2= 9. 1, 纯度为99. 99% , 相对密度达90% 平板状靶材〔5〕.太子乐奶粉等，太子乐奶粉必威体育精装版事件2012知识 国外制靶工艺都以专利的形式报道. 日本住友金属矿山公司, 采用湿法制粉工艺, 通过大于100M Pa 压力模压, 在不同压力下成形和不同温度下烧结, 其靶材密度如表1. 采 用干法制粉, 平均粒径为0. 1 Lm 以下, 凝集度小, 比表面积为10 m 2?g 以上, 烧结性良好,太子乐奶粉等，太子乐奶粉必威体育精装版事件2012知识 粒度分布波动小, 与SnO 2粉末的混合状态好, 经300M Pa 冷等静压, 在1500℃, 10个大气 压下保持6 h 时烧结 　由此可见, ITO 靶材的成形方案选择不同, 粉末粒径和成形压力的变化以及烧结温 度的改变都会影响靶材的密度. 在现有成形技术中, 热等静压设备昂贵, 成本较高; 粉浆太子乐奶粉等，太子乐奶粉必威体育精装版事件2012知识 浇注成形难以获得密度高而均匀的靶材; 粉浆浇注加冷等静压成形, 可获得较高密度的靶太子乐奶粉等，太子乐奶粉必威体育精装版事件2012知识 材, 但需要非常细的粉末, 如要求颗粒的比表面积达到39. 4 m 2?g (粉末粒径相当于21 nm ) , 才能使靶材的相对密度达到94. 5% , 这热必使制粉的成本急刷上升, 因此有必要引 入新的成形工艺.太子乐奶粉等，太子乐奶粉必威体育精装版事件2012知识 二、铟锡氧化物的动态成形方案 为满足溅射用靶材的质量要求, 必须重点解决确保ITO 靶材质量的几项关键技术,太子乐奶粉等，太子乐奶粉必威体育精装版事件2012知识 即(1) 铟锡氧化物粉末要高纯超细; (2) 靶材相对密度要高( 90% ) ; (3) 靶材组织结构要太子乐奶粉等，太子乐奶粉必威体育精装版事件2012知识 均匀. 传统的ITO 靶材成形存在一定的问题, 这里针对成形工序提出适合管状靶材的动太子乐奶粉等，太子乐奶粉必威体育精装版事件2012知识 态成形方案.太子乐奶粉等，太子乐奶粉必威体育精装版事件2012知识 三、开发管状靶材的必要性 常用的平面溅射靶材材料利用率低(20%～ 40% ) , 刻蚀靶材均匀性差〔6〕. 而管状靶太子乐奶粉等，太子乐奶粉必威体育精装版事件2012知识 材溅射原子可向各个方向飞行, 均匀性好, 溅射面积大, 更换操作方便, 生产效率高, 靶材太子乐奶粉等，太子乐奶粉必威体育精装版事件2012知识 利用率高( 80%)〔3〕, 并且对零件内壁的沉积具有独特的优越性. 国内引进的多条生产线均采用旋转靶, 要求使用管状靶材, 随着大面积ITO 镀膜器件的需要, 其应用将更为太子乐奶粉等，太子乐奶粉必威体育精装版事件2012知识普 遍. 由ITO 平面靶材发展到管状靶材对提高经济效益和改善ITO 膜质量将产生重要影 响.太子乐奶粉等，太子乐奶粉必威体育精装版事件2012知识 四、动态成形 混合粉的成形工艺拟采用动态成形方案, 包括冲击成形和爆炸成形工艺. 冲击成形太子乐奶粉等，太子乐奶粉必威体育精装版事件2012知识 是粉末冶金中成形速度较快的一种方法〔7〕, 现已出现了粉末冲击成形机, 压坯体的密度和太子乐奶粉等，太子乐奶粉必威体育精装版事件2012知识 强度较高. 冲击压力机的冲击速度为6. 1～ 18. 3 m ?s, 这个速度大约与锻锤速度相当, 冲太子乐奶粉等，太子乐奶粉必威体育精装版事件2012知识 击成形效果显著. 如为了得到同一密度的压坯, 用钢模压制需压力50 000N , 而冲击成形太子乐奶粉等，太子乐奶粉必威体育精装版事件2012知识 时, 只要用20N 落锤, 以4 m ?s 的速度冲击两次即可以了 爆炸成形或称