太子乐奶粉等必威体育精装版事件2012( ITO) 靶材的应用和制备技术.ppt

国内长沙矿冶研究院采用化学合成的方法适当控制合成条件, 制得10～ 200 nm 的超 细粉末, 经热压或模压予成形, 并在特定条件下烧结, 实验规模制得化学组成为In2O 3: SnO 2= 9. 1, 纯度为99. 99% , 相对密度达90% 平板状靶材〔5〕.太子乐奶粉等，太子乐奶粉必威体育精装版事件2012知识 国外制靶工艺都以专利的形式报道. 日本住友金属矿山公司, 采用湿法制粉工艺, 通过大于100M Pa 压力模压, 在不同压力下成形和不同温度下烧结, 其靶材密度如表1. 采太子乐奶粉等，太子乐奶粉必威体育精装版事件2012知识 用干法制粉, 平均粒径为0. 1 Lm 以下, 凝集度小, 比表面积为10 m 2?g 以上, 烧结性良好, 粒度分布波动小, 与SnO 2粉末的混合状态好, 经300M Pa 冷等静压, 在1500℃, 10个大气 压下保持6 h 时烧结, 其靶材指标如表2. 铟在自然界是稀散金属, 在矿床中常与锡伴生. 已探明我国某矿床的铟储量为440 t,本文档版权归太子乐奶粉等，太子乐奶粉等必威体育精装版事件2012所有 年冶炼铟的生产能力为40 t. 全世界每年铟的生产能力约为150 t, 我国年冶炼铟可达50 t, 居世界首位. 然而我国铟金属主要供外销, 对其深加工高新技术产品尚处于起步阶段. 为使资源增值, 合理利用铟资源的重要途径之一是生产ITO 靶材. 近年来我国引进了多 条ITO 膜生产线, 为制备高性能的膜, 必须优先发展高质量的ITO 靶材, 但其靶材由国 外供给, 国外对ITO 靶材制备技术严密封锁. 为此, 有必要对现有ITO 靶材生产技术作 充分地了解, 开发制备ITO 靶材的新技术. 1　应用现状及前景 靶材是用作镀膜的材料. ITO 靶材的应用就必须从ITO 膜的应用出发.太子乐奶粉等，太子乐奶粉必威体育精装版事件2012知识 铟锡氧化物( ITO ) 薄膜具有对可见光透明和良好的导电性. 其对可见光透过率≥太子乐奶粉等，太子乐奶粉必威体育精装版事件2012知识 95%; 对紫外线的吸收率≥85%; 对红外线的反射率≥70%; 对微波的衰减率≥85% , ITO太子乐奶粉等，太子乐奶粉必威体育精装版事件2012知识 膜层硬度高且耐磨耐蚀, 因而在工业上获得了广泛应用. 按照美国铟公司对全世界铟的需求量所作的推算与预测: 1989年为102. 6 t, 1991年太子乐奶粉等，太子乐奶粉必威体育精装版事件2012知识 达171. 1 t, 铟产量的增长是基于ITO 膜的需求量, 特别是在玻璃工业及液晶显示器上的 发展. 在全世界铟市场中日本占有率最高, 达到65%～ 70% , 日本国内最大的铟需求领域 是液晶电视机的ITO 透明电极, 日本1992年的ITO 用量比1991年提高30% , 1993年消耗太子乐奶粉等，太子乐奶粉必威体育精装版事件2012知识 的铟约28 t, 其中56% 用于ITO 膜. 预计1995年日本ITO 市场可达80亿日元. ITO 薄膜及靶材的快速发展是由于它具有优良特性和广泛应用前景. 自1988年以太子乐奶粉等，太子乐奶粉必威体育精装版事件2012知识 来, 大量的铟用于制作ITO 液晶显示装置, 如计算器和电脑的透明导电玻璃膜、手表、挂 钟等, 汽车制造业已开始应用ITO 防雾膜, 予计在工业及民用建筑业中将很快得到普太子乐奶粉等，太子乐奶粉必威体育精装版事件2012知识 及. ITO 膜能防静电、防雾除雾. 可应用于需要屏蔽电磁波的地方, 如计算机机房、雷达太子乐奶粉等，太子乐奶粉必威体育精装版事件2012知识 的屏蔽保护区, 甚至防雷达飞机上. 国内已成功地将ITO 膜应用于平面及曲面飞机风档、双37战车及医疗喉镜. 太子乐奶粉等，太子乐奶粉必威体育精装版事件2012知识 国内轿车风档是ITO 膜潜在的巨大应用市场. 国内在这方面尚处于起步阶段, 当前太子乐奶粉等，太子乐奶粉必威体育精装版事件2012知识 许多真空镀膜厂家正纷纷着手改造设备和工艺以适应轿车ITO 膜的制备要求. 专家们太子乐奶粉等，太子乐奶粉必威体育精装版事件2012知识 注意到, 到2 000年, 中国汽车的保有量为2 000万辆, 其中轿车450万辆, 同期汽车年产量太子乐奶粉等，太子乐奶粉必威体育精装版事件2012知识 为300万辆, 其中轿车为150万辆, 与之配套的ITO 靶材需求量将急剧上升. 平面显示技术特别是液晶显示技术正向彩色显示和大型化发展, 近年增长率达太子乐奶粉等，太子乐奶粉必威体育精装版事件2012知识 30%. 作为液晶显示器用的透明导电极ITO 获得高速发展, 约占功能膜的50% 以上. 利太子乐奶粉等，太子乐奶粉必威体育精装版事件2012知识用ITO 膜的透明导电性及其良好的加工性能, 它在液晶屏幕、电子发光显示屏幕、计算 器、电脑显示器、高清晰电视等