固结磨粒金刚石线锯技术的研究.pdf

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制造技术/工艺装备 2010 6 * 1 2 , ( 1, 310053; 2, 31005 1) : , , , : ; ; : TH 16 : A : 1671) 3133( 2010) 06) 0099) 03 The research of fix ed abrasive diam ond w ire saw technology 1 2 DU H ong-w en , X I Zhen-q ang ( 1 Zhej ang Inst tute of M echan ca l and E lectr ca l Eng neer ng, H ang zhou 310053, Ch na; 2 M ater a l Research Ins t tut on, Zhej ang Sc-T ech Un vers ty, H angzhou 310051, Ch na) A b stract: D amond w re saw s used fo r hard-br ttle m ater a l prec se cutt ng w th low kerf- loss. A s a further deve lopm ent and an env ronm en tally fr end ly techno logy, f x ed ab ras ve d amond w re cutt ng s w dely appl ed to s l con w afer m anufac tur ng n sem - conductor and pho tovo lta c ndu stry due to ts econom y and h gh cutt ng eff c ency. P erform ed tr a l and analys s on cutt ng pa rame- ters and fa lure m echan sm of f xed abras ve d amond w re saw ( fo r s l con w afer mach n ng) w th ava lab le dom est c equ pments and nterna t ona l h gh qual ty d amond w re. Expected to be a gu dance fo r m prov ng e ff c ency and qua l ty o f s l con m ate r al cut- t ng. K ey w ords: d am ond w re saw; cutt ng param eters; ana ly s s and research , , , 1 , , , ; , 0115 ~ 015mm , , 1 [ 1-4] , , , 1 , , , , , , , * ( Y 200909278)

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