x-ray原理及应用(装机).ppt

荧光X射线镀层厚度测量仪  -----原理和应用 精工盈司电子科技(上海) 有限公司 内 容 1. 电镀的种类 荧光X射线如何产生? SFT仪器结构介绍 能谱图 X方向—能量（KeV) Y方向—强度（cps) 检 量 线 用荧光X射线测定镀层厚度的方法 ①非破坏及非接触 　质量管理 ②纵方向的分析　 膜厚测量 ③不需要前处理 研磨(WDXRF)、蒸镀(EPMA) ④定性分析容易 元素组成 精工SFT产品的特征 ★自动能量校正 ★多种X射线光束尺寸 ★自动设定测量条件 ★激光点自动对焦 ★非破坏及非接触之分析 ★中文版操作软件 ★备有并可提供300种以上的标准样品 自动测量条件设定 FP法的流程 精工电子纳米科技有限公司 试验所 2002年10月 ISO/IEC17025 取得认证！! 认证范围 认证机构 ：日本适合性认证协会（JAB) M25 机械?物理试验 M25.80 测量 M25.80.2 厚度 M25.80.1 质量法 对应规格 TL504-B-003 M25.80.2 荧光X射线方式试验法 对应规格 JIS H 8501 13 质量管理和成本控制 镀层厚度及合金成分等质量管理 过低、过高不符技术要求 成本控制 符合技术要求时，尽量降低原材料的消耗 及人力、能源的消耗 总 结 1.荧光X射线镀层厚度测量仪的特征 非接触?非破坏，多层及合金同时测量 具有高生产力和高再现性 2. 质量管理和成本控制 测量迅速，实时，便于及时调整生产 积累数据，提高生产技术能力 3.增强企业竞争能力 从质量管理到不良品分析等广范领域的应用 提高产品档次，增强企业竞争能力 谢 谢 ！ 精工电子纳米科技有限公司 * * 2. 荧光X射线镀层厚度测量仪介绍 3. SFT特征 5. 总结 4. 质量控制和成本管理 电镀的种类 5-20 ?m Ni-P 机械零件 1-50 ?m Sn-Pb 1-20 ?m Ni, Cu 约10?m Zn-Ni, Zn, Sn-Zn 0.1-5?m Au, Au Alloy TiN Cr, Ti, Pd, Ag, Sn, Au 含Cr有机涂层 Cr, Rh, Pd, Ni 元素 0.005-5? m 电子零件的 电极部分 1-5 ?m 工具的刀尖 功能性 约0.1 ? m 机械零件的 外装部分 防蚀性 约0.1 ? m 装饰品的 外装部分 装饰性 镀层厚度 范围 主要的对象 目的 Cu (Z=29) 被放出的电子 原子核 层 层 层 层 Cu (Z=29) 一次 X射线 被放出的电子 放射出来的X射线 (特性 X射线) 原子核 层 层 层 层 X-Y-Z 样品台 X射线管 准直器 镜子 荧光X射线 CCD画面 镀层厚度的测量原理 荧光Ｘ射线强度 Au镀层厚度 照射Ｘ射线 1.通过测定已知厚度标样，得到强度值，进而建立检量线。 2.X线强度与镀层厚度 成对数关系。 3.测量未知厚度样品，得到强度值，通过检量线，算出厚度值。 事先测定标准物质(已知厚度的样品) ↓ 从测定结果中求得厚度和X射线强度的关系(标准曲线) ↓ 根据标准曲线算出实际样品的厚度 一般用标准曲线法测定 根据标准物质的测量，可用标准曲线求得镀层厚度及组成和X射线強度的关系。 参考：SFT QA No.2 单层标准曲线 SFT技术特征 检量法 FP法 对检出元素中纯物质的X射线强度进行计算 从测出的强度和计算出的强度的比例中求浓度的初期值 用得到的浓度对２次激发和重叠波校正后的X射线进行计算 使用标准物质时不累加校正系数 用测出的强度和计算出的强度的比例来对浓度进行校正 用百分比来标准化 是否收敛? 计算结束 否 是 上限 (强度比在0.95以下) 下限 (一般的定义是背景的标准偏差的10倍) 0.1μｍ 0.05μｍ 0 μｍ 可测量范围的定义 0 0.25 0.5 0.75 1 0 20 40 60 80 100 Ag 镀层厚度 (μm) Ag 强度比 Ag/Cu 标准曲线 10 0.005 0.05 Pb 82 8 0.005 0.05 Au 79 80-100 0.01 0.1 Sn 50 80-10