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靜電防護基礎知识介绍 DMD-QA 肖海雲 目 錄 一.静电的概念 二.静电产生的物理过程 三.静电产生的物理效应 四.电子工业静电的危害形式 五.电子生产中的典型静电源 六. 静电控制原理 七. 防静電措施 静电的概念 1. Electrostatic-靜電 靜電就是物體所帶相對靜止不動的電荷. 2. ESD-Electrostatic Discharge-靜電放電 具有不同靜電電位的物體,由於直接接觸或靜電感 應引起的物體間靜電電荷轉移. 3. EOS-Electrostatic Overstress 靜電損傷 由靜電放電造成的電子元器件性能退化或功能失效. 4. ESDS-ESD Sensitivity -Susceptivility-靜電敏 感性 度  衡量一個器件對靜電破壞所能感受的程度,即其特性在不同的靜電水准下改變多少. 静电的概念 静电是物体表面过剩或不足的静止电荷。 1、静电是一种电能，它留存物体表面；静电是正电荷 和负电荷在局部范围内失去平衡的结果；静电是通过电子或离子转移而形成的。 2、静电现象是电荷的产生和消失的过程中产生的电现象的总称。 静电产生的物理过程 接触 电荷转移 偶电层的形成 电荷分离 静电产生的方式： 接触 摩擦 冲流 冷冻 电解 压电 温差 静电产生的物理效应 一、力学效应 对毛发、纸片、尘埃、纤维的吸附作用非常明显 二、放电效应 产生静电放电、热量或声响、宽频电磁辐射、直接向空气放电 三、放电感应效应 电子工业静电的危害形式 1、静电吸附 2、静电放电引起的器件击穿 3、静电感应 4、静电放电时产生的电磁脉冲 硬击穿：一次性造成芯片介质击穿 、烧毁等永久性失效。 软击穿：造成器件的性能劣化或参数指标下降而成为隐患。 电磁脉冲导致电路出现错误，设备误动作。 电子廠生产中的典型静电源 1、人体静电 2、生产设备静电源 普通工作服与工作台、各种包装容器、各种绝缘地面、空气压缩机、焊烙铁、波峰焊机 人体對静电敏感材料 包括:IC. 二極體. 三極管. 晶振 .的破坏. 静电控制原理 一、静电泄漏和耗散 1、防静电材料 材料分类 体积电阻率 表面电阻 静电导体 ≤106欧姆?米 ≤107欧姆 静电耗散材料 106~1010欧姆?米 107~1011欧姆 静电非导体 ≥ 1010欧姆?米 ≥ 1010欧姆 摘自《GB12158-90》 静电控制原理 2、泄漏与接地 软接地：地线串接阻值较高的电阻器后再与大地相连。 硬接地：将地线直接接地或通过一低电阻接地。 GB12158-90规定，总泄漏电阻不应1000000欧姆 静电控制原理 二、静电中和 将正负离子与静电源上的正负电荷中和，从而消除静电源上积累的静电 离子风枪，静电刷，抗静电剂 三、静电屏蔽与接地 四、增湿 防静電措施 一、人体静电防护系统 二、防静电地坪 三、防静电操作系统 四、特殊用品 一、人体静电防护系统 静电手环 1、必须与皮肤接触 2、每天进行点检 3、工作时必须接地 静电服 静电鞋、袜、手套、帽 防静電措施 二、防静电地坪 1、防静电橡胶板地面 2、防静电塑料地板 3、防静电地毯 4、防静电活动地板 5、防静电沥青砂浆地坪 6、水泥类防静电地坪 防静電措施 三、防静电操作系统 1、防静电台垫 2、防静电软塑料包装袋 3、防静电硬塑料容器 4、防静电包装盒、条、管 5、防静电台车 6、防静电维修包 7、防静电工具：防静电烙铁、防静电真空吸锡器 防静電措施 四、其它特殊用品 1、防静电清洗机 2、防静电工作椅 3、防静电贴墙纸 4、防静电窗帘 5、防静电清洗液 6、防静电毛刷 7、防静电海绵 8、防静电胶液 9、增湿器 10、防静电支架 防静電措施