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集成光路综析及展望 Photonic integrated Circuit: Comprehensive Analysis and Prospectsand Prospects 陈益新 上海交通大学上海交通大学 上海交通大学上海交通大学 2011年年9月月 深圳深圳 年年 月月 深圳深圳 2011-9 Chen 集成光路 1 内 容 • 前言前言--集成光学和集成光路集成光学和集成光路 前言前言 集成光学和集成光路集成光学和集成光路 • 集成光路的材料体系和技术平台集成光路的材料体系和技术平台 集成光路的材料体系和技术平台集成光路的材料体系和技术平台 • LiNbO 集成光器件集成光器件 3 集成光器件集成光器件 •• SiOSiO 平面平面平面平面光路光路光路光路 （（（（PLCPLC）））） 2 平面平面平面平面光路光路光路光路 （（（（ ）））） • InP （（III-V ）基）基集成光路集成光路 （（ ））基基集成光路集成光路 • Si 基集成光路基集成光路 基基集成光路集成光路 • 结语结语：开创：开创Si / III-V集成光电路新时代集成光电路新时代 结语结语：：开创开创 集成光电路新时代集成光电路新时代 2011-9 Chen 集成光路 2 提 要 • 随着众多宽带业务的急剧增长随着众多宽带业务的急剧增长，未来光网络将具有更高的，未来光网络将具有更高的 随着众多宽带业务的急剧增长随着众多宽带业务的急剧增长，，未来光网络将具有更高的未来光网络将具有更高的 速率速率、更大的容量和更广泛的应用、更大的容量和更广泛的应用。。 速率速率、、更大的容量和更广泛的应用更大的容量和更广泛的应用。。 • 这就对光系统中采用的发送这就对光系统中采用的发送、接收、接收、调制、调制、放大、放大、交换和、交换和 这就对光系统中采用的发送这就对光系统中采用的发送、、接收接收、、调制调制、、放大放大、、交换和交换和 动态补偿等光器件提出更苛刻的要求动态补偿等光器件提出更苛刻的要求：高性能：高性能、小尺寸、小尺寸、、 动态补偿等光器件提出更苛刻的要求动态补偿等光器件提出更苛刻的要求：：高性能高性能、、小尺寸小尺寸、、 低功耗低功耗、高可靠和低成本、高可靠和低成本。无疑。无疑，光器件和光模块的集成，光器件和光模块的集成 低功耗低功耗、、高可靠和低成本高可靠和低成本。。无疑无疑，，光器件和光模块的集成光器件和光模块的集成 化将是必然的技术方向化将是必然的技术方向化将是必然的技术方向化将是必然的技术方向。。。。 化将是必然的技术方向化将是必然的技术方向化将是必然的技术方向化将是必然的技术方向。。。。 • 当前当前，不同功能的光器件需要采用相宜的材料和工艺才能，不同功能的光器件需要采用相宜的材料和工艺才能 当前当前，，不同功能的光器件需要采用相宜的材料和工艺才能不同功能的光器件需要采用相宜的材料和工艺才能 获得理想的性能获得理想的性能，因而出现了多种光集成技术平台，因而出现了多种光集成技术平台，诸如，诸如：： 获得理想的性能获得理想的性能，，因而出现了