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LED结构设计

第37卷  第11期 华  中 科  技  大  学  学  报 ( 自然科学版) Vol . 37 No . 11 2009年  11月   J . Huazhong U niv . of Sci . Tech . (Nat ural Science Edition)  Nov .  2009 L ED 晶体质量与结构设计对发光性能的影响 a ,b a ,b ,c a b ,c 严  晗  刘  胜  徐静平  甘志银 (华中科技大学 a 电子科学与技术系 ; b 武汉光电国家实验室 ; c 机械科学与工程学院 , 湖北 武汉 430074) ( ) ( ) 摘要 : 以金属有机物化学气相沉积 MOCVD 设备生长的4 片蓝宝石衬底氮化镓基发光二极管 L ED 外延片 ( ) 为样品 ,对氮化镓基 L ED 的发光性能的影响因素进行了对比分析. 采用场发射扫描电子显微镜 F SEM 观测 ( ) ( 湿法腐蚀前后的样品表面缺陷形貌 ,用 X 射线衍射 XRD 检测样品的晶体质量 ,通过室温光致荧光光谱 R T PL ) 及光学积分球对样品的发光特性进行了测量和分析. 结果表明:结构设计对提高 L ED 发光性能的影响大 于晶体质量的影响 ,优化 L ED 光学 、电学结构是提高氮化镓基 L ED 发光性能的关键手段. 关  键  词 : 氮化镓 ; 发光二极管 ; X 射线衍射 ; 光致荧光光谱 ; 薄膜 中图分类号 : TN 3 12 . 8   文献标识码 : A   文章编号 : 167 145 12 (2009) Infl uence of L ED ′s crystal qual ity and structure design on its l uminescence perf ormance Yan H ana ,b  L i u S heng a ,b ,c  X u J i ng p i ng a  Gan Z hiy i nb ,c (a Dep art ment of Elect ronic Science and Technology ; b Wuhan National L aboratory for Op toelect ronics ; c College of Mechanical Science and Engineering , Huazhong U niver sit y of Science and Technology , Wuhan 430074 , China) Abstract : The factor s influencin g lumine

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