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LED结构设计
第37卷 第11期 华 中 科 技 大 学 学 报 ( 自然科学版) Vol . 37 No . 11
2009年 11月 J . Huazhong U niv . of Sci . Tech . (Nat ural Science Edition) Nov . 2009
L ED 晶体质量与结构设计对发光性能的影响
a ,b a ,b ,c a b ,c
严 晗 刘 胜 徐静平 甘志银
(华中科技大学 a 电子科学与技术系 ; b 武汉光电国家实验室 ;
c 机械科学与工程学院 , 湖北 武汉 430074)
( ) ( )
摘要 : 以金属有机物化学气相沉积 MOCVD 设备生长的4 片蓝宝石衬底氮化镓基发光二极管 L ED 外延片
( )
为样品 ,对氮化镓基 L ED 的发光性能的影响因素进行了对比分析. 采用场发射扫描电子显微镜 F SEM 观测
( ) (
湿法腐蚀前后的样品表面缺陷形貌 ,用 X 射线衍射 XRD 检测样品的晶体质量 ,通过室温光致荧光光谱 R T
PL ) 及光学积分球对样品的发光特性进行了测量和分析. 结果表明:结构设计对提高 L ED 发光性能的影响大
于晶体质量的影响 ,优化 L ED 光学 、电学结构是提高氮化镓基 L ED 发光性能的关键手段.
关 键 词 : 氮化镓 ; 发光二极管 ; X 射线衍射 ; 光致荧光光谱 ; 薄膜
中图分类号 : TN 3 12 . 8 文献标识码 : A 文章编号 : 167 145 12 (2009)
Infl uence of L ED ′s crystal qual ity and structure
design on its l uminescence perf ormance
Yan H ana ,b L i u S heng a ,b ,c X u J i ng p i ng a Gan Z hiy i nb ,c
(a Dep art ment of Elect ronic Science and Technology ; b Wuhan National L aboratory for Op toelect ronics ; c College
of Mechanical Science and Engineering , Huazhong U niver sit y of Science and Technology , Wuhan 430074 , China)
Abstract : The factor s influencin g lumine
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