国防上的穆尔法律：一个基于矽微型悬臂的智能传感器平台.doc

国防上的穆尔法律：一个基于矽微型悬臂的智能传感器平台 摘要为发展存在廉宜的,高度地选择的,和极端地敏感的器帮助恐怖主义。如果这样的传感器可以被制造，他们可能在实际上任何形势里部署恐怖分子有多种潜在代理和交付从中选择化学，生物学，，或者爆炸攻击检测恐怖分子武器已经成为昂贵的努力，因为目前需要众多传感器平台发现不同类型威胁。赢得这场反恐怖主义战争基于硅的微型电子悬臂传感器与恐怖主义作斗争理想的传感器平台因为这些微型传感器是廉价的并且可以被部署在任何地方最近，高灵敏性微型悬臂传感器已经被。因此， 这要求为单微型传感器实现综合广泛可部署传感器可能。化学，生物学，，爆炸察觉国防微型悬臂传感器恐怖主义介绍恐怖分子超过法律巨大的经济优势很多次，发现恐怖分子威胁比部署恐怖分子威胁。例如，一个天然爆炸设备能在飞行过程中破坏一架飞机，在飞机场部署的当今的爆炸察觉技术是昂贵的并且需要操作者注意象征性的价钱和努力进行甚至可能未留意直到伤害的人们开始在医院出现在核上，使用一枚放射性物质炸弹，是可能威胁即使个人威胁敏感的察觉可能目前可能，这样的技术/ 传感器系统是庞大，昂贵的，并且需要费时的程序此外，多次威胁的察觉需要使用基于不同的技术/ 传感器平台的多种专业的仪器因此，在传感器技术方面的一种范例变化需要与反恐怖主义作斗争最好，国防需要一个有下列特点的传感器系统 同时和迅速能发现多次威胁的一个单个传感器的平台 一廉价，微型和可以被在任何地方的坚固的传感器系统和数据传输和联网的内置遥测术可的技术满足这些条件 不过，基于的新兴的传感器技术满足这些条件这样的微型传感器可能被有效地使用任何地方飞机场，海港，公共大楼，在多种领域方面的技术，包括计算，化学和遥测术，已经足够成熟被为微型悬臂传感器技术因此，微型悬臂传感器平台传感器技术方面革命平衡例如，提出传感器技术可以与20世纪60年代内计算机地位相，任何计算限制在少数的巨型计算机但是在穆尔里被简明表示的硅革命已经能够广泛使用计算机目前，昂贵和庞大的察觉系统部署在战略性位置，例如飞机场在传感器技术方面的一次类似革命可能数百万对智能化，微型的传感器的部署一个基于微型悬臂的传感器平台是可能的除反恐怖主义战争外，这样的一个传感器平台将在医学诊断，法律实施，地雷察觉，环境监控和很多其他应用过程中因此，主要问题可能是如下，说明：需要使用微型，廉价传感器迅速对复杂混合的大量多种威胁踪迹的察觉我们讨论对用传感器阵列达到这个目标的研究当今的地位并且指出给微型悬臂传感器提供了一个合适平台应当指出这篇文章没打算是一篇全面的回顾文章我们将短暂评论传感器阵列的当今的地位并且参考在和其他传感器技术上的文件我们的意图是指出基于一个微型悬臂传感器平台用于国防的可能性二十年，在1982年， 和：他们指出哺乳动物的嗅觉系统基于宽转动的感受神经细胞并且嗅觉系统的特性区别是整体上的系统的特性每个感受器，并且很多感受器对任何规定的作出反应被认为是嗅觉信号处理的的优势是同时种的能力。到目前为止，几个可能的传感器阵列平台已经被研究，作为电子鼻子候选，包括基于金属氧化物导电的聚合物，光纤，电化学，和声音的波传感器。加德纳和巴特利特详细描述这些传感器技术多种统计和神经网络技术已经被应用处理源于传感器阵列的数据气味的评估和用于工业数据处理。基于传感器阵列的商业证书适用于这些应用在这些应用过程中的通常使用的传感器技术是金属氧化物聚合物，和声音 [表面声波]传感器金属氧化物传感器是庞大的，但是他们有1000000水平的敏感性；传感器从得到他们的蒸汽检测功率并且能有时候可以歪曲涂料的粘弹性的特性的变化识别吸附的蒸汽，好察觉敏感性和高量传感器每阵列可能需要复杂的混合物内取得踪迹察觉。最多6台传感器被在阵列里使用，并且为零部件蒸汽在阵列里使用的锯传感器的检测极限在低的而且，已经注意到在人有超过1000种嗅觉的基因和在一个狗鼻子里的超过1亿个嗅觉的细胞微型悬臂传感器可以提供高灵敏和阵列用多的传感器的能力，如此使在复杂的混合物里的踪迹蒸汽的察觉成为可能。这种高灵敏性微型悬臂传感器起源于集成微。因此，一台基于为信号微型悬臂传感器预计能在敏感性方面提供巨大的。过去十年，已经在硅或者补充的金属氧化物半导体上起动化学传感器的制造基本上二维集成电路和化学传感器结构以结合石印处理，薄膜，蚀刻，散播，并且氧化台阶被最近延长进第3 尺寸使用微型机制或者微型悬臂技术一结合的特别，蚀刻停止，以及牺牲层因此， 微型悬臂技术提供极好的方法达到化学传感器的其他关键标准， 例如设备，低功耗并且还有低成本的批捏造的微型化。目前，两台基于CMOS技术的微型悬臂传感器正被研究，弯曲的盘子波(FPW)传感器和微悬臂的传感器。FPW 传感器对更多的公用草地在很多方面相似看见和QCM 传感器， 并且它能监控在一层薄层上