洛伦兹平面电机解耦控制与参数校准_滕伟.pdfVIP

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2017-09-17 发布于山西
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洛伦兹平面电机解耦控制与参数校准_滕伟.pdf

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第 32 卷第 21 期中国电机工程学报 Vol.32 No.21 Jul. 25, 2012 112 2012 年 7 月 25 日 Proceedings of the CSEE ©2012 Chin.Soc.for Elec.Eng. 0258-8013 (2012) 21-0112-07 TN 305 A 470 40 文章编号：中图分类号：文献标志码：学科分类号：  洛伦兹平面电机解耦控制与参数校准 1 1 1 2 滕伟，柳亦兵，武鑫，穆海华 (1．华北电力大学能源动力与机械工程学院，北京市昌平区 102206 ； 2．清华大学精密仪器与机械学系，北京市海淀区 100084) Decoupling Control and Control Parameter Calibration for Lorentz Planar Motors 1 1 1 2 TENG Wei , LIU Yibing , WU Xin , MU Haihua (1. School of Energy, Power and Mechanical Engineering, North China Electric Power University, Changping District, Beijing 102206, China; 2. Department of Precision Instrument and Mechanology, Tsinghua University, Haidian District, Beijing 100084, China) ABSTRACT: The strategy of decoupling control and the 关键词：洛伦兹平面电机；解耦控制；参数校准；最小二乘 calibration technology of control parameters are pivotal to 算法 realize ultra-precision motion control for Lorentz planar motors. 0 引言 In this paper, a 3-DOF motion control structure was designed to implement decoupling control for Lorentz planar motors based 平面电机因具有直接驱动、响应快速等优点而 on inverting the existing dynamic model. To improve control 广泛应用于各种加工设备中[1-2] 。文献[3]基于洛伦 precision furthermore, the uncertainties in the control system 兹平面电机设计了一种用于纳米级定位与运动的 were analyzed and the effect on control precision caused by the