1制备援制件骨架的类LIGA工艺.pdfVIP

维普资讯 鼍鳓铺泽 ·粪LIGAI艺鹩穰擞注设娃塾 王翊编译 ．瞿光 明校 擅一：对于带商微型结}西惮型剌件的篷啦成型工艺．采用类Ll0A璃微注釉腰型是一柙I瓯脚奉高麒散鼢途径。洋细闸避 了制诗龊籼件静颦的类LI(；Ar艺。在研究甲使用了一r有皿形镬制忤骨架的飙板横型．目在骨架上电镁了细微结构 通讨 葵墒捋出鬻用类Ll0A注疆戚型的诸多优点 关■钢：征塑腻型．L10A工艺．光黜执蚀剂 ．细微结嘲．电镀 中舶分炎暑 ：TQ32O66 立默标tR玛：B 文●■■：l0097‘97X(2006)0I。0()33。05 在本研究中。用注塑成型工艺制铬带有微 结构的模制体骨架以及对制件进行注塑成型的 型结构的模型制件。用类LG【A工艺制造嵌有商 方法。对制造模制件骨架B的一些关键影响因 宽比接近 I的细微结构的模制件骨架。综合了 素．如 ：爨底材料、光致j亢蚀剂 、蚀刻法和 电 紫外线光刻技术和电镀技术的类LIGA工艺可 镀等．也进行了讨论。通过制件的造型采评价 在钢质星底上刻划出微型结构。本万法提出了 模制件骨架的复制质量。模制件骨架设计上使 一 种不采用x射线光刻技术的微型结构模塑成 其成为具有微特点的、有沟槽和毛细管阀的微 型的低成本高成效的途径。在模塑制件骨架的 型混合器。该细微特征 的高宽 比接诞 1。 制造中 ，结构例面成型 良好的拉模角是成功注 塑成型的关键因素。由此成型的制件能有很好 1 制备援制件骨架的类LIGA工艺 的模制件骨架微型结构复制性能。 用碳钢 (s45C)作为基底材料。有 2种类 型的基底用作模制件骨桨 ，一种是原钢 ．另一 0 引夸 种是在其上无 电极镀覆的镍的星厩。圆形的填 塑料的汪塑成型是一种适合于大规模制造 制件骨架直径为120mm．厚度为1mm。模制件 高精度制件的工艺。精微注塑成型是用于制造 骨架在进行光刻前酋先经抛光使其表面光滑。 细微尺寸塑料部件的方法之一。微注入造型能 用类LIGA法制备模制件骨架图案的工艺流程 用来制造具有细微结构或重量在毫克以内的制 如图 I所示 。负性光致抗蚀剂旋转涂覆在基底 件。这些制件 的潜在应用包括 ：微型射流控制 、 上，图案掩槿后在紫外光下曝光。舄影后，掩 微型机械零件、微型全量分析系统等等。以微 镆遵蔽的区域j中洗掉 ．从而在光致抗蚀剂上形 型为特点的制件的注塑成型工艺与LIGA或类 成细微结构。如果紫外线的曝光蕈不足 ，光致 LIGA工艺的制件骨架发展有关。LIGA工艺涉 抗蚀剂图案的侧边会形成一捣模角。对垦底上 及以下过程 ：x射线蚀刻、电分度成型和成型 曝露的图案电镀一层镍 。然后 ，去除掉光致j亢 r。。 。 用类LIGA工艺制造具有细微结构的模制 蚀剂，留下有细微结构图案的模制件骨架。 品骨架 采用了厚层的光致抗蚀剂和标准的紫 本研究中用2类光致抗蚀剂进行了试验 。 外线蚀刻程序 。 首先用了一种员性光致抗蚀剂．SU一850(Micro 本项目将采用类 LIGA工艺制造具有微型 Chem 公司)。它可以在基底上疆～层厚40 100 m的薄膜 。在将光致}冗蚀剂旋转涂潼在摹 收稿I：1 ： I川I一2【一I7 20061 第32卷