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第31卷第5期 低温与特气 V01．31．No．5
2013年10月 Low and Gases Oct．．2013
TemperatureSpecialty
·工艺与设备·
MOCVD尾气中氨气吸附回收的探讨与研究
汤剑波，宋常征，李东升
(上海正帆科技有限公司，上海201108)
摘要：主要探讨了以氯化钙为吸附剂吸附回收MOCVD尾气中氨气的效果。通过实验，研究了氯化钙状态、氨气分
bar=0．1
压、初始纯度对氨气吸附比、回收率以及回收纯度的影响。当使用粉末状氯化钙、氨气分压大于4bar(1
MPa)，初始纯度大于20％时，氨气吸附比达到5．8，回收率达到99．5％以上，回收的纯度达到99％以上。测试了氯
化钙的吸附寿命，200次吸脱附氨气后吸脱附比只下降4％左右。
关键词：MOCVD；氨气；吸附；回收
中图分类号：TH49 文献标志码：A 文章编号：1007-7804(2013)05．0012．05
doi：10．3969／j．issn．1007-7804．2013．05．003
ResearchonAmmonia From
AdsorptionRecovery
MOCVDVentGas
TANG
Jianbo，SONG
Changzheng，LIDongsheng
Gentech 201108，China)
(ShanghaiCo．，Ltd．，Shanghai
article fromMOCVD calciumchlorideasadsorbent．
Abstract：Thediscussedammonia vent with
adsorptionrecovery gas
The ofammoniawouldbeaffectedtheformofcalcium
adsorptionratio，recovery，andpurity by chloride，partialpressure
andinitial ofammonia．The and ofammoniacould reach
5．8，99．5％
purity adsorptionratio，recoverypurity respectively
and99％whenthe above4 bar=0．1 initial above20％withthe calcium
bar(1 MPa)and powder
partialpressure purity
as theother and ratio declinedabout4％after200timesofad—
chlorideadsorbent．On
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