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2017-09-13 发布于重庆
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现代制造工程2010年第9期设备设计／诊断维修／再制造 ICP光源中负载匹配箱的设计’ 王超1．一，金星1，石宝松1，一，杜江3 (1中国地质大学(武汉)机械与电子信息学院，武汉430074；2中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，长春130033；3北京海光仪器公司，北京100016) 摘要：阐述电感耦合等离子体(InductivelyCoupledPlasma，ICP)光源中负载匹配箱的设计方案，对等离子体产生过程中的负载阻抗变化进行深入分析。利用ADS软件对ICP光源负载阻抗的电路模型进行阻抗匹配仿真，根据仿真结果，提出等离子体产生过程中阻抗匹配网络的控制策略和参数范围。在多次等离子体的点火实验中，成功将氩气电离，顺利产生并稳定维持了环形球状等离子体火焰。关键词：ICP光源；阻抗匹配；等离子体中图分类号：TN741文献标识码：A文章编号：167l—-3133(2010)09—0132—03 ofload boxofICPsource Design matching WANG Cha01”，JINXin91，SHIBao．son91”，DUJian93 ofMechanicalElectronic of (1Faculty Information，ChinaUniversityGeoseiences， Wuhan Instituteof Mechanicsand 430074，China；2 Academy Changchun Optics，Fine Physics，Chinese of 130033，China；3 Instrument 100016，China) Sciences，ChangchunBeijingHaiguang Co．Ltd．，Beijing Abstract：Aload boxof is load characteristicin CoupledPlasma(ICP)80ureedesigned，theimpedance matchingInductively is is formation circuitmodelof networksimulatedADSsoftware plasma analyzed．The impedancematching by system，moreover simulationresult．Plasmaof control of a舱determined is strategyand船119eparametem by dischargeargongasgeneratedsmoothly andstabilizedinexperiments． words：ICP Key source；impedancematching；plasma 0 引言等离子体的阻抗只有0．5—1．511…，为了满足产生并在现代分析测试仪器中，ICP—MS、ICP—AES(OES)