UV2LIGA和微细电火花加工技术组合制作三维金属微结构.pdfVIP

第 18 卷 　第 2 期 　 光学 精密工程 Vol . 18 　No . 2 20 10 年 2 月 　 　 　　 　　　　　　　Op tics and Preci sion Engineering 　　　 　　　 　　 Feb . 20 10 ( ) 文章编号 　1004924X 20 10 UVL IGA 和微细电火花加工技术 组合制作三维金属微结构 1 ,2 1 2 1 ,2 杜立群 ,莫顺培 ,张余升 ,刘 　冲 ( 1. 大连理工大学 辽宁省微纳米技术及系统重点实验室 ,辽宁 大连 116024 ; 2 . 大连理工大学 精密与特种加工教育部重点实验室 ,辽宁 大连 116024) 摘要 :为了制作三维金属微结构 ,研究了 U VL I GA 和微细电火花加工技术组合的工艺方法 。使用 U VL I GA 技术制作 了准三维金属微结构 ,然后 ,对该微结构进行微细电火花加工制作三维金属微结构 。使用提出的方法制作出了局部为梯 形凸台和锥形凹槽三维微结构的镍模具 ,给出了梯形凸台和锥形凹槽的尺寸 。分析了微细电火花加工中放电参数对表 μ 面粗糙度的影响 ,在工作电压为 65 V ,标称电容为 100 p F 时得到了 Ra 为 0 . 08 m 的微细电火花加工表面 。研究结果表 明 ,使用该方法可实现三维金属微结构的制作 ;通过减小工作电压和标称电容的方法可降低微细电火花加工的表面粗糙 度 。 关 　键 　词 :三维金属微结构 ;U VL I GA ;微细电火花加工 ;组合制作 ;表面粗糙度 中图分类号 : T G66 1 　　文献标识码 :A Fabrication of 3D metal microstructure based on UVL IGA and microEDM technology DU Liqun1 ,2 , MO Shunp ei1 , ZHAN G Yusheng2 , L IU Chong1 ,2 ( 1. Key L aboratory f or M ic ro/ N ano Tech nol og y an d S y s tem of L i aoni ng P rov i nce , D al i an Uni ve rs i ty of Tech nol og y , D al i an 116024 , Chi na; 2 . Key L aboratory f or P recis ion N ont ra d i t ion al M achi ni ng Tech nol og y of t he ) M i nis t ry of E d ucat ion , D al i an Uni ve rs i ty of Tech nol og y , D al i an 116024 , Chi na Abstract : In or der to f abricat e 3D met al micro st r uct ure s , a co mbined machining p roce ss ba s