GB/T 11073-2007硅片径向电阻率变化的测量方法.pdf

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| 2007-09-11 颁布
| 2008-02-01 实施

GB/T 11073-2007硅片径向电阻率变化的测量方法.pdf

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犐犆犛７７．０４０．０１犎１７　中华人民共和国国家标准／ — 犌犅犜１１０７３２００７代替／ — ＧＢＴ１１０７３１９８９硅片径向电阻率变化的测量方法犛狋犪狀犱犪狉犱犿犲狋犺狅犱犳狅狉犿犲犪狊狌狉犻狀狉犪犱犻犪犾狉犲狊犻狊狋犻狏犻狋狏犪狉犻犪狋犻狅狀狅狀狊犻犾犻犮狅狀狊犾犻犮犲狊犵狔２００７０９１１发布２００８０２０１实施中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布中国国家标准化管理委员会／ — 犌犅犜１１０７３２００７前言　　本标准是对／ — 《硅片径向电阻率变化的测量方法》的修订。本标准修改采用了ＧＢＴ１１０７３１９８９　　《硅片径向电阻率变化的测量方法》。ＡＳＴＭＦ８１０１本标准与ＡＳＴＭＦ８１０１的一致性程度为修改采用，主要差异如下： ———删去了第章“意义和用途”。ＡＳＴＭＦ８１０１４本标准与／ — 相比主要变化如下：ＧＢＴ１１０７３１９８９ ———因／已并入／，本标准在修订时将硅片电阻率测试方法标准改为ＧＢＴ６６１５ＧＢＴ１５５２／，并将第章“规范性引用文件”中的“ ／ ”改为“ ／ ”；ＧＢＴ１５５２２ＧＢＴ６６１５ＧＢＴ１５５２ ———采用第章“计算”中的计算方法替代原 — 中径向电阻率变化ＡＳＴＭＦ８１０１８ＧＢ１１０７３１９８９的计算方法； ———依据／将电阻率的测量上限由３ · 改为３ · ；ＧＢＴ１５５２１×１０Ω ｃｍ３×１０Ω ｃｍ ———将原／ — 中第章“测量误差”改为第章“干扰因素”，并对其后各章章号作ＧＢＴ１１０７３１９８９７４了相应调整； ———删去了原／ — 中的表，采用／规定的直径偏差范围；ＧＢＴ１１０７３１９８９１ＧＢＴ１２９６５ ———将原／

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