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第 卷 第 期 光学 精密工程
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# $ # $ # 多层膜的研究
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王风丽!王占山!张 众!吴文娟!王洪昌!张淑敏!秦树基!陈玲燕
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同济大学 精密光学工程技术研究所!上海 #
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摘要!给出了 $ % $ % $ !钨$碳化硼%钨$碳%钨$硅#周期多层膜的制备和测量研究用超高真
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空直流磁控溅射方法制备出周期在 范围内的多层膜样品采用 射线衍射仪! #小角
!7! ?7#-F A AS]
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度测量方法检测多层膜的光学性能并用透射电镜! #对样品的微观结构进行了研究结果表明’
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周期大于 !7-F 的多层膜样品的结构质量高膜层结构清晰界面粗糙度小(周期为 !7!%-F 的多层
膜的膜层结构不是很明显(所有膜层均为非晶态没有晶相生成结果还表明’采用目前的溅射设备和
工艺过程能够制备出满足同步辐射荧光光束线上单色器用多层膜
关 键 词!多层膜! 射线衍射仪!同步辐射!透射电镜
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中图分类号! 文献标识码!
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