MNOMOM多层膜的研究-光学精密工程.pdfVIP

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第 卷 第 期 光学 精密工程 ! ! ! 5267! 827! ! ! !!!!!!!! ()*+,-./01*)+)2-3- )-110)- !!!!!!!! 年 月 ! ’ 4 4 #$$% # 91:7#$$% ! ! ! ! 文章编号 ! # !$$;@#A #$$%$!;$$#=;$ ! # $ # $ # 多层膜的研究 M NO M O M ?$ 王风丽!王占山!张 众!吴文娟!王洪昌!张淑敏!秦树基!陈玲燕 ! 同济大学 精密光学工程技术研究所!上海 # #$$$@# 摘要!给出了 $ % $ % $ !钨$碳化硼%钨$碳%钨$硅#周期多层膜的制备和测量研究用超高真 L W \ L \ L U) 空直流磁控溅射方法制备出周期在 范围内的多层膜样品采用 射线衍射仪! #小角 !7! ?7#-F A AS] # 度测量方法检测多层膜的光学性能并用透射电镜! #对样品的微观结构进行了研究结果表明’ J3‘ 周期大于 !7-F 的多层膜样品的结构质量高膜层结构清晰界面粗糙度小(周期为 !7!%-F 的多层 膜的膜层结构不是很明显(所有膜层均为非晶态没有晶相生成结果还表明’采用目前的溅射设备和 工艺过程能够制备出满足同步辐射荧光光束线上单色器用多层膜 关 键 词!多层膜! 射线衍射仪!同步辐射!透射电镜 A ! ! 中图分类号! 文献标识码! @ K !! $ % $ % $ M NO M O M ?$CD50$5.,# * LK8M 91- ;6) LK8M NO,-;+O,- NGK8M NO2- LR L1-;T,- 4 4 X LK8M G2- ;*O,- NGK8M UO

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